氮化物基发光器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1606177A

    公开(公告)日:2005-04-13

    申请号:CN200410092115.4

    申请日:2004-10-08

    CPC classification number: H01L33/42 H01L33/32 H01L33/405 H01L2933/0016

    Abstract: 提供了一种氮化物基发光器件及其制造方法。该氮化物基发光器件具有一种结构,其中在衬底上至少依次形成n型包覆层、有源层和p型包覆层。该发光器件还包括形成于p型包覆层上由包含的p型杂质的含锌(Zn)氧化物构成的欧姆接触层。该氮化物基发光器件的制造方法包括在p型包覆层上形成由包含p型杂质的含锌(Zn)氧化物构成的欧姆接触层,制造欧姆接触层并对所得结构进行退火。通过改善与p型包覆层的欧姆接触,氮化物基发光器件及其制造方法提供了优良的I-V特性,同时由于透明电极的高透光率,有效地增强了器件的发光效率。

    氮化物基发光器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1606177B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200410092115.4

    申请日:2004-10-08

    CPC classification number: H01L33/42 H01L33/32 H01L33/405 H01L2933/0016

    Abstract: 提供了一种氮化物基发光器件及其制造方法。该氮化物基发光器件具有一种结构,其中在衬底上至少依次形成n型包覆层、有源层和p型包覆层。该发光器件还包括形成于p型包覆层上由包含的p型杂质的含锌(Zn)氧化物构成的欧姆接触层。该氮化物基发光器件的制造方法包括在p型包覆层上形成由包含p型杂质的含锌(Zn)氧化物构成的欧姆接触层,制造欧姆接触层并对所得结构进行退火。通过改善与p型包覆层的欧姆接触,氮化物基发光器件及其制造方法提供了优良的I-V特性,同时由于透明电极的高透光率,有效地增强了器件的发光效率。

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