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公开(公告)号：CN109494183A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811043669.3
申请日：2018-09-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/683
Abstract: 本公开涉及一种升降针组件、衬底支撑单元以及衬底处理设备，该升降针组件，包括：升降针，所述升降针具有实质上平行于第一方向的第一纵轴；针连接块，所述针连接块与所述升降针的下端部结合，所述针连接块包括在所述针连接块的下端部中的第一引导凹部，所述第一引导凹部在实质上垂直于所述第一方向的第二方向上延伸；以及升降针保持器，所述升降针保持器具有实质上平行于所述第一方向的第二纵轴，所述升降针保持器包括第一滑动部分，当所述升降针保持器连接到所述针连接块的所述下端部时，所述第一滑动部分在所述第二方向上可移动地容纳在所述第一引导凹部内，所述第一滑动部分在所述第二方向上能够移动所述第二纵轴与所述第一纵轴的偏心距离。
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