用于评估稀有失效事件的电路良率分析方法及系统

    公开(公告)号:CN108694273B

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN201810325304.3

    申请日:2018-04-12

    Abstract: 一种用于评估稀有失效事件的电路良率分析方法及其系统,其可提高重要性采样蒙特卡罗(ISMC)模拟效率及准确性。所述方法包括:执行初始采样,以检测在多维度参数空间中分别位于一个或多个失效区处的失效样本;产生失效样本沿每一维度在离散值处的分布;识别所述失效样本;执行变换以将所述失效样本投影到变换空间中的所有维度中;以及针对所述参数空间中的每一维度来分类失效区的类型。

    用于晶圆图分析的系统和方法

    公开(公告)号:CN109612999B

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN201811101527.8

    申请日:2018-09-20

    Abstract: 一种用于重建半导体晶圆的晶圆图的系统,包括:处理器;和存储器,其具有被存储在其上的指令,当由处理器执行该指令时使得处理器:接收在晶圆的稀疏采样位置处的晶圆的测试数据,基于探测掩模选择稀疏采样位置;和通过利用Zernike多项式对在晶圆的稀疏采样位置处的测试数据执行压缩感测来计算重建晶圆图。

    对劣化电路的输出进行仿真的电路仿真器、方法和系统

    公开(公告)号:CN109753677A

    公开(公告)日:2019-05-14

    申请号:CN201811321312.7

    申请日:2018-11-07

    Abstract: 根据本发明的一个实施例,一种被配置成对包括多个晶体管的电路的劣化输出进行仿真的电路仿真器包括:行为递归神经网络,被配置成接收输入波形并计算电路输出波形;特征引擎,被配置成根据老化时间对一个或多个劣化电路元件进行建模,接收所述电路输出波形并输出多个劣化特征;以及物理递归神经网络,被配置成从所述特征引擎接收多个所述劣化特征并对所述电路的所述劣化输出进行仿真。也提供对劣化电路的输出进行仿真的方法和系统。

    用于评估稀有失效事件的电路良率分析方法及系统

    公开(公告)号:CN108694273A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201810325304.3

    申请日:2018-04-12

    Abstract: 一种用于评估稀有失效事件的电路良率分析方法及其系统,其可提高重要性采样蒙特卡罗(ISMC)模拟效率及准确性。所述方法包括:执行初始采样,以检测在多维度参数空间中分别位于一个或多个失效区处的失效样本;产生失效样本沿每一维度在离散值处的分布;识别所述失效样本;执行变换以将所述失效样本投影到变换空间中的所有维度中;以及针对所述参数空间中的每一维度来分类失效区的类型。

    分析半导体装置的性能的系统、方法和计算机程序产品

    公开(公告)号:CN105975646B

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201610140665.1

    申请日:2016-03-11

    Inventor: 王敬 许诺 崔祐晟

    Abstract: 提供一种用于确定半导体装置的性能的系统、方法和计算机程序产品。所述方法包括提供与半导体装置的标称性能相应的技术计算机辅助设计数据集合;识别与所述半导体装置的制造期间发生的工艺变化相应的多个工艺变化源;使用所述多个工艺变化源中的每一个工艺变化源的标称值生成半导体装置的电参数的标称值查找表;使用与被识别为相应于半导体装置的所述多个工艺变化源中的每一个工艺变化源相应的变化值生成所述半导体装置的电参数的多个工艺变化查找表。

    用于生成晶体管的模型的系统和方法

    公开(公告)号:CN111797581A

    公开(公告)日:2020-10-20

    申请号:CN202010253861.6

    申请日:2020-04-02

    Inventor: 王敬 崔祐晟

    Abstract: 公开用于生成晶体管的模型的系统和方法。所述方法包括:初始化超参数;根据超参数和使晶体管输入状态值与晶体管输出状态值相关的训练数据来训练神经网络;确定训练数据的晶体管输出状态值是否与神经网络的输出匹配;将神经网络移植到电路仿真代码,以生成移植的神经网络;使用移植的神经网络对测试电路进行仿真,以仿真测试电路的晶体管的行为,来生成仿真输出;确定生成仿真输出的周转时间是否令人满意;响应于确定周转时间不令人满意,基于更新的超参数重新训练神经网络;以及响应于确定周转时间令人满意,将移植的神经网络输出为晶体管的模型。

    用于晶圆图分析的系统和方法

    公开(公告)号:CN109612999A

    公开(公告)日:2019-04-12

    申请号:CN201811101527.8

    申请日:2018-09-20

    Abstract: 一种用于重建半导体晶圆的晶圆图的系统,包括:处理器;和存储器,其具有被存储在其上的指令,当由处理器执行该指令时使得处理器:接收在晶圆的稀疏采样位置处的晶圆的测试数据,基于探测掩模选择稀疏采样位置;和通过利用Zernike多项式对在晶圆的稀疏采样位置处的测试数据执行压缩感测来计算重建晶圆图。

    分析半导体装置的性能的系统、方法和计算机程序产品

    公开(公告)号:CN105975646A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610140665.1

    申请日:2016-03-11

    Inventor: 王敬 许诺 崔祐晟

    Abstract: 提供一种用于确定半导体装置的性能的系统、方法和计算机程序产品。所述方法包括提供与半导体装置的标称性能相应的技术计算机辅助设计数据集合;识别与所述半导体装置的制造期间发生的工艺变化相应的多个工艺变化源;使用所述多个工艺变化源中的每一个工艺变化源的标称值生成半导体装置的电参数的标称值查找表;使用与被识别为相应于半导体装置的所述多个工艺变化源中的每一个工艺变化源相应的变化值生成所述半导体装置的电参数的多个工艺变化查找表。

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