公开(公告)号：CN1231612C

公开(公告)日：2005-12-14

申请号：CN99120400.X

申请日：1999-09-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 林定泽 ,  边圣俊 ,  李寿元 ,  金珍秀

IPC: C23F1/02

CPC classification number: H01L21/67253 ,  C23F1/02 ,  C23F1/08

Abstract: 一种蚀刻系统及方法，利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层而形成预定的图案时，根据基板的累积处理数目变化而采用不同的蚀刻时间。此系统包括：一蚀刻设备，其包括为了利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层，从而形成预定的图案的蚀刻处理部和为了临时储藏内装有基板的卡匣的装载部；及一控制部，控制上述蚀刻设备的作业过程，该蚀刻设备是根据基板的累积处理数目不同，而采用不同的蚀刻时间。

公开(公告)号：CN1252457A

公开(公告)日：2000-05-10

申请号：CN99120400.X

申请日：1999-09-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 林定泽 ,  边圣俊 ,  李寿元 ,  金珍秀

IPC: C23F1/00

CPC classification number: H01L21/67253 ,  C23F1/02 ,  C23F1/08

Abstract: 一种蚀刻系统及方法,利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层而形成预定的图案时,根据基板的累积处理数目变化而采用不同的蚀刻时间。此系统包括:一蚀刻设备,其包括为了利用一个单一定量的蚀刻剂蚀刻多个基板上的涂层,从而形成预定的图案的蚀刻处理部和为了临时储藏内装有基板的卡匣的装载部;及一控制部,控制上述蚀刻设备的作业过程,该蚀刻设备是根据基板的累积处理数目不同,而采用不同的蚀刻时间。

公开(公告)号：CN1139527C

公开(公告)日：2004-02-25

申请号：CN00101879.5

申请日：2000-02-02

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 许民宁 ,  边圣埈 ,  林定泽 ,  朴炳劝

IPC: B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67276 ,  Y10S414/14

Abstract: 一种生产工艺中的衬底移出、移入系统及方法，该系统包括：一自动传送装置，用于自动传送储存衬底的卡匣；一手动传送装置，及一加工设备。加工设备包括：用于临时放置运来的卡匣的货口，一装载器，其具有一传感器；及一作业台，当卡匣置于货口上时，加工设备检查传感器是否接收到通讯开始信号，当接收到上述信号时，卡匣是通过自动传送装置传送的，以便设定加工设备为自动传送模式，当没有接收到信号时，卡匣是通过手动传送装置传送的，从而设定为手动传送模式。

公开(公告)号：CN1263040A

公开(公告)日：2000-08-16

申请号：CN00101879.5

申请日：2000-02-02

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 许民宁 ,  边圣埈 ,  林定泽 ,  朴炳劝

IPC: B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67276 ,  Y10S414/14

Abstract: 一种生产工艺中的衬底移出、移入系统及方法,该系统包括:一自动传送装置,用于自动传送储存衬底的卡匣;一手动传送装置,及一加工设备。加工设备包括:用于临时放置运来的卡匣的货口,一装载器,其具有一传感器;及一作业台,当卡匣置于货口上时,加工设备检查传感器是否接收到通讯开始信号,当接收到上述信号时,卡匣是通过自动传送装置传送的,以便设定加工设备为自动传送模式,当没有接收到信号时,卡匣是通过手动传送装置传送的,从而设定为手动传送模式。