公开(公告)号：CN101009191A

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200610172141.7

申请日：2006-12-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李承熙 ,  梁英守 ,  金承彻 ,  崔灿承 ,  张圆培 ,  金民锡

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  H01L21/425 ,  C30B31/22

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J2237/31703 ,  H01L21/265 ,  H01L21/68764

Abstract: 一种离子注入系统包括：源部分、束线部分、具有压盘的目标腔室、和具有剂量杯和第一可变筛孔的法拉第部分，其中，压盘能够沿第二方向移动且支撑半导体衬底，并且第一可变筛孔包括具有沿第一方向的第一可调宽度的第一开口。