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公开(公告)号：CN119028794A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202410644976.6
申请日：2024-05-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种电感耦合等离子体处理设备包括：主体，其具有内部空间；腔室，其在主体的内部空间中，并且具有敞开的上侧和敞开的下侧；窗单元，其耦接到腔室的上部以形成处理空间；以及线圈，其在窗单元的上部中，其中线圈被构造为形成电磁场。主体包括基板安装部分，基板安装部分被构造为接收基板以使得基板位于腔室下方。窗单元包括多个窗，并且多个窗中的每一个具有相应的不同厚度和/或相应的不同材料。
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