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公开(公告)号：CN110554005B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN201910128810.8
申请日：2019-02-21
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了一种能够在高分辨率下精确检查检查对象的同时执行高速检查的低成本数字全息显微镜(DHM)，一种利用DHM的检查方法和一种利用DHM制造半导体装置的方法。DHM包括：光源，其被构造为产生和输出光；分束器，其被构造为使得光入射到检查对象并且输出来自检查对象的反射光；以及检测器，其被构造为检测反射光，其中，当反射光包括干涉光时检测器产生干涉光的全息图，并且其中在从光源至检测器的路径上无透镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1194914A
公开(公告)日：1998-10-07
申请号：CN98105888.4
申请日：1998-03-26
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 朴光植
IPC: B42F3/04
CPC classification number: B42F13/12
Abstract: 多功能学习机的图画书插件的固定结构,包括一组具有倒U字形的主体和钩状凹槽的弹性卡环和一个在其边缘上具有一条边界的外壳板。外壳板的上面有预定数目的卡环孔,通过使最后一页与这些卡环孔对齐的方式将图画书的最后一页装在该外壳板的上面。最后一页的适当对齐指的是将该最后一页推到外壳板的侧边,防止其盖住卡环孔。
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公开(公告)号：CN110857917A
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201910418481.0
申请日：2019-05-20
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 描述了与基于结构照明(SI)的检查设备有关的系统和方法。基于SI的检查设备可以能够以高分辨率实时精确地检查检查对象，同时减少光的损失。还描述了检查方法，以及包括基于SI的检查方法的半导体器件制造方法。检查设备可包括：光源，配置为产生并输出光束；相移光栅(PSG)，配置为将来自光源的光束转换成SI；分束器，配置为使SI入射到检查对象上并输出来自检查对象的反射光束；台架，能够移动检查对象并且在其上布置检查对象；以及延时积分(TDI)相机，配置为通过检测反射光束来捕获检查对象的图像。
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公开(公告)号：CN110554005A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201910128810.8
申请日：2019-02-21
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了一种能够在高分辨率下精确检查检查对象的同时执行高速检查的低成本数字全息显微镜(DHM)，一种利用DHM的检查方法和一种利用DHM制造半导体装置的方法。DHM包括：光源，其被构造为产生和输出光；分束器，其被构造为使得光入射到检查对象并且输出来自检查对象的反射光；以及检测器，其被构造为检测反射光，其中，当反射光包括干涉光时检测器产生干涉光的全息图，并且其中在从光源至检测器的路径上无透镜。
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公开(公告)号：CN1079054C
公开(公告)日：2002-02-13
申请号：CN98105888.4
申请日：1998-03-26
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 朴光植
CPC classification number: B42F13/12
Abstract: 多功能学习机的图画书插件的固定结构，包括一组具有倒U字形的主体和钩状凹槽的弹性卡环和一个在其边缘上具有一条边界的外壳板。外壳板的上面有预定数目的卡环孔，通过使最后一页与这些卡环孔对齐的方式将图画书的最后一页装在该外壳板的上面。最后一页的适当对齐指的是将该最后一页推到外壳板的侧边，防止其盖住卡环孔。
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