公开(公告)号：CN112812691B

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202011101370.6

申请日：2020-10-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 郑文一 ,  金度润 ,  高井健次 ,  文得圭 ,  尹民希

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/321

Abstract: 公开抛光浆料和制造半导体器件的方法。所述抛光浆料包括富勒烯衍生物和至少一种具有至少一个带正电的官能团的化合物。所述制造半导体器件的方法通过使用所述抛光浆料而进行。

公开(公告)号：CN112812691A

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN202011101370.6

申请日：2020-10-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 郑文一 ,  金度润 ,  高井健次 ,  文得圭 ,  尹民希

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/321

Abstract: 公开抛光浆料和制造半导体器件的方法。所述抛光浆料包括富勒烯衍生物和至少一种具有至少一个带正电的官能团的化合物。所述制造半导体器件的方法通过使用所述抛光浆料而进行。