公开(公告)号：CN1518401A

公开(公告)日：2004-08-04

申请号：CN200310118192.8

申请日：2003-11-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 安德烈·佩特林 ,  许智贤 ,  申在光

IPC: H05H1/46 ,  C23F4/04 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32266 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32678 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供了一种等离子体发生系统。该等离子体发生系统包括：一个微波发生器，用于产生微波；一个折射器，它通过改变上述微波的传播方向以平面波的形式传送上述微波；一个电磁单元，用以对上述微波形成的等离子体施加磁场并使之产生电子回旋谐振。

公开(公告)号：CN1268178C

公开(公告)日：2006-08-02

申请号：CN200310118192.8

申请日：2003-11-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 安德烈·佩特林 ,  许智贤 ,  申在光

IPC: H05H1/46 ,  C23F4/04 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32266 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32678 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供了一种等离子体发生系统。该等离子体发生系统包括：一个微波发生器，用于产生微波；一个折射器，它通过改变上述微波的传播方向以平面波的形式传送上述微波；一个电磁单元，用以对上述微波形成的等离子体施加磁场并使之产生电子回旋谐振。