薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

    公开(公告)号:CN100521189C

    公开(公告)日:2009-07-29

    申请号:CN200610006610.8

    申请日:2006-01-26

    Abstract: 本发明涉及一种用于提供包括铜合金的信号线的系统和技术,所述铜合金包括钼、钨和铬中的至少一种。本公开提供薄膜晶体管阵列面板,包括:绝缘基板;形成在该绝缘基板上的栅极线;形成在该栅极线上的栅极绝缘层;形成在该栅极绝缘层上的半导体层;形成在该栅极绝缘层和该半导体层上的欧姆接触;具有形成在该欧姆接触之一上且具有比其下的欧姆接触窄的宽度的源极电极的数据线;以其间一间隙对着该源极电极且具有比其下的欧姆接触窄的宽度的漏极电极;以及连接至所述漏极电极的像素电极,其中所述栅极线和所述数据线中的至少一种包括Cu合金,所述Cu合金包括Cu以及选自含有钼(Mo)、钨(W)和铬(Cr)的组的一种。

    显示器件的基板和具有其的液晶显示器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1743935B

    公开(公告)日:2011-02-23

    申请号:CN200510113265.3

    申请日:2005-09-05

    Abstract: 一种显示器件的基板和液晶显示器件的制造方法,包括:在绝缘基板上形成开关元件和数据线,数据线电连接到开关元件的第一电极;形成具有部分暴露出开关元件的第二电极的接触孔和与数据线相邻的槽的绝缘层;形成像素电极,其通过绝缘层上的接触孔电连接到第二电极。在第一电极和第二电极之间形成有源图案。绝缘层如此形成:在具有开关元件和数据线的绝缘基板上淀积绝缘材料;除去对应于第二电极的一部分绝缘材料;除去与数据线相邻的绝缘材料和与数据线相邻的有源图案,使得数据线的宽度小于设置在数据线下方的有源图案剩余部分的宽度。通过同一蚀刻工艺除去对应于第二电极的绝缘材料、与数据线相邻的绝缘材料、和与数据线相邻的有源图案。

    液晶显示器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1869775A

    公开(公告)日:2006-11-29

    申请号:CN200610080906.4

    申请日:2006-05-22

    Abstract: 本发明提供了一种制作具有显示区和非显示区的液晶显示器的方法,该方法包括:在绝缘基底上形成具有漏电极的薄膜晶体管(TFT);在TFT上顺序地形成无机层和有机绝缘层;通过图案化有机绝缘层来形成有机绝缘层图案,有机绝缘层包括第一有机层孔和第二有机层孔,其中,第一有机层孔暴露漏电极上的无机层,第二有机层孔沿着其中有机绝缘层被部分去除的显示区的外围形成;去除通过第一有机层孔暴露的无机层和残留在第二有机层孔内的有机绝缘层;在第二有机层孔内形成密封剂。因而,本发明提供了一种利用较少的掩模制作LCD的方法而防止了滤色器基底与TFT基底分开。

    液晶显示器的制造方法

    公开(公告)号:CN1869775B

    公开(公告)日:2010-05-12

    申请号:CN200610080906.4

    申请日:2006-05-22

    Abstract: 本发明提供了一种制作具有显示区和非显示区的液晶显示器的方法,该方法包括:在绝缘基底上形成具有漏电极的薄膜晶体管(TFT);在TFT上顺序地形成无机层和有机绝缘层;通过图案化有机绝缘层来形成有机绝缘层图案,有机绝缘层包括第一有机层孔和第二有机层孔,其中,第一有机层孔暴露漏电极上的无机层,第二有机层孔沿着其中有机绝缘层被部分去除的显示区的外围形成;去除通过第一有机层孔暴露的无机层和残留在第二有机层孔内的有机绝缘层;在第二有机层孔内形成密封剂。因而,本发明提供了一种利用较少的掩模制作LCD的方法而防止了滤色器基底与TFT基底分开。

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