半导体装置
    1.
    发明公开
    半导体装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN118804589A

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202311672207.9

    申请日:2023-12-07

    Inventor: 李善行 孙东熙

    Abstract: 一种半导体装置,包括:外部有源图案,其在衬底上,外部有源图案具有与外部有源图案交叉的沟槽;外部字线,其覆盖沟槽的壁;内部有源图案,其在沟槽中覆盖外部字线;内部字线,其在沟槽中覆盖内部有源图案;以及分离绝缘图案,其在沟槽中插置在外部字线和内部有源图案之间。外部字线和内部字线彼此绝缘。

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