转移微型半导体芯片的方法及转移结构

    公开(公告)号:CN118335852A

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202410029785.9

    申请日:2024-01-09

    Abstract: 提供了一种转移微型半导体芯片的方法和转移结构。该方法包括:提供多个基底转移基板,每个所述基底转移基板包括多个凹槽;在第一底部基板上对准所述多个基底转移基板;在第二底部基板上对准所述多个基底转移基板;通过将微型半导体芯片转移到第一底部基板的基底转移基板来提供目标转移结构;通过将微型半导体芯片转移到第二底部基板的基底转移基板来提供初步转移结构;以及将目标转移结构的基底转移结构当中的未转移微型半导体芯片的错误基底转移结构替换为初步目标转移结构的基底转移结构当中的在其上转移了微型半导体芯片的正常基底转移结构。

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