本发明公开了一种用于晶圆边缘抛光的检测方法、装置及设备。该检测方法包括对待检测晶圆进行定位；获取定位后的待检测晶圆的平面部形貌数据和曲面部形貌数据；对平面部形貌数据和曲面部形貌数据分别进行曲线拟合，得到第一曲线和第二曲线；对曲线进行特征提取及特征点匹配；基于匹配的特征点对，计算两条曲线之间的单应性变换矩阵；确定所述第一曲线和第二曲线的重合区域；确认最佳缝合点；根据最佳缝合点将第一曲线和第二曲线进行对接，将对接后的曲线作为待检测晶圆的边缘检测曲线。通过晶圆的寻心定位，高度补偿，曲线拟合和形貌观测等功能的集成一体化设计，确保了多参数测量的数据同步性，增强了测量结果的准确性和可靠性。