本发明涉及直线电机技术领域，公开了一种高精度直线电机模组，包括底座、定子、动子、滑轨、负载、滑块及润滑模组，所述底座中固定设置有定子，所述定子上方滑动配合有动子，所述底座中对称地固定安装有滑轨，所述负载通过滑块与滑轨滑动配合，所述负载一端固定设置有可摆动喷射润滑油的润滑模组，本发明利用润滑模组中可摆动结构的特点，使得润滑油在喷射时可以同时覆盖到两侧的滑轨上，这样设置就无需针对每一滑轨独立进行润滑油的补充，确保润滑油在补充时更加均匀，有利于保持直线电机模组的高精度运行，润滑油摆动射出的范围还覆盖到了定子与动子的接触部位，动子的滑动作用也得到了充分的润滑，有效避免动子在高速滑动时产热加剧。