Invention Publication
- Patent Title: 一种金刚石线锯用切割液及制备方法和应用
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Application No.: CN202410768942.8Application Date: 2024-06-14
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Publication No.: CN118652724APublication Date: 2024-09-17
- Inventor: 戴媛静 , 邹洋 , 张紫铜 , 张晨辉 , 雒建斌
- Applicant: 清华大学天津高端装备研究院 , 清华大学
- Applicant Address: 天津市东丽区慧谷园4号楼;
- Assignee: 清华大学天津高端装备研究院,清华大学
- Current Assignee: 清华大学天津高端装备研究院,清华大学
- Current Assignee Address: 天津市东丽区慧谷园4号楼;
- Agency: 天津企兴智财知识产权代理有限公司
- Agent 薛萌萌
- Main IPC: C10M173/02
- IPC: C10M173/02 ; C10M177/00 ; C10N30/06 ; C10N30/04 ; C10N20/02 ; C10N30/18 ; C10N40/16

Abstract:
本发明提供了一种金刚石线锯用切割液及制备方法和应用,按照质量分数计包括以下组分:多元饱和醇2~20%;有机酸0.01~5%;有机碱0.01~5%;聚醚1~80%;消泡剂0.01~1%;沉降剂0.01~1%;其余为去离子水。采用上述配方后,本发明的金刚石线锯用切割液能够降低电导率,减小表面张力,提升硅粉沉降性,减少泡沫富集,增强润滑性,降低片均线痕和TTV,提高切割效率;另外,本发明的成分成本低,便于推广应用。
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