一种金刚石线锯用切割液及制备方法和应用
Abstract:
本发明提供了一种金刚石线锯用切割液及制备方法和应用,按照质量分数计包括以下组分:多元饱和醇2~20%;有机酸0.01~5%;有机碱0.01~5%;聚醚1~80%;消泡剂0.01~1%;沉降剂0.01~1%;其余为去离子水。采用上述配方后,本发明的金刚石线锯用切割液能够降低电导率,减小表面张力,提升硅粉沉降性,减少泡沫富集,增强润滑性,降低片均线痕和TTV,提高切割效率;另外,本发明的成分成本低,便于推广应用。
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