本发明公开了一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统及方法，系统包括尾气输送管、换热机构、第一换热器、储罐和硅烷提纯机构；硅烷提纯机构包括除甲烷塔，除甲烷塔设有第一进口和第一出口；换热机构设有用于热交换的管程流道和壳程流道，换热机构的管程流道的进口和尾气输送管连接，换热机构的管程流道的出口和第一换热器的管程进口连接，第一换热器的管程出口和储罐的进口连接；换热机构的壳程流道的进口和储罐的出口连接，换热机构的壳程流道的出口和除甲烷塔的第一进口连接，除甲烷塔的第一出口连接有用于输送硅烷的硅烷输送管道。本发明实现了对颗粒硅生产尾气中硅烷的分离和回收，减少了硅烷的浪费。