一种高附着力Cu薄膜电极及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种高附着力Cu薄膜电极,由下至上依次为光学基片、电加热膜、过渡连接层、Cu薄膜;所述过渡连接层采用金属铬膜,厚度为12nm~15nm;本发明所得金属薄膜电极具有优良牢固度,和光学基片表面膜层的附着力优良;可以实现膜层焊接不穿孔脱落、电阻值低,易于在其表面采用焊接的方式连接引线,且多次通电稳定可靠,环境适应性好;形状和轮廓可以根据设计要求进行定制,设计合适结构的镀膜治具即可实现各种形状金属薄膜电极的镀制。
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