基于超表面结构的超紧凑硅波导模式转换器件
Abstract:
一种紧凑硅波导模式转换器,为基于具有倾斜的亚波长周期性扰动的电介质超曲面结构,包括:在SOI基片上蚀刻形状的若干个周期个数,周期为Λ、占空比、倾斜角度为θ的斜向亚波长扰动的顶层硅结构;本发明采用具有倾斜的亚波长扰动的全介质超表面结构,可以实现紧凑的基模到任意高阶模的硅波导模式转换,能够大幅度提升光通信容量。
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