等离子体发生器
Abstract:
本发明提供了一种等离子体发生器,属于等离子体设备领域。上述等离子体发生器,主要包括阴极部分、引弧部分和阳极部分。其中引弧部分设置在阴极部分与阳极部分之间,用于在阳极部分与阴极部分之间引发电弧,电弧将工作气体进行电离产生等离子体,等离子体通过阳极部分喷出。阴极部分包括阴极座和阴极头;阴极座的座体包括冷却通道;阴极头与座体连接。通过进水口将冷却水通入到冷却通道中,冷却水在流经阴极头时带走一部分热量,从而使得阴极头能够被有效冷却;进而提高阴极头的使用寿命。另外,将引弧部分设置在阴极头和阳极本体之间,其能够在拉大阴阳极之间的距离提高弧压的同时,提高弧压的稳定性。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0