Invention Grant
- Patent Title: 一种铝掺杂氧化钨基的双选择性气敏传感器的制备方法
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Application No.: CN201910367558.6Application Date: 2019-05-05
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Publication No.: CN109991286BPublication Date: 2022-01-04
- Inventor: 潘国峰 , 崔军蕊 , 何平 , 回广泽 , 王如 , 华中
- Applicant: 河北工业大学
- Applicant Address: 天津市红桥区丁字沽光荣道8号河北工业大学东院330#
- Assignee: 河北工业大学
- Current Assignee: 河北工业大学
- Current Assignee Address: 天津市红桥区丁字沽光荣道8号河北工业大学东院330#
- Agency: 天津翰林知识产权代理事务所
- Agent 赵凤英
- Main IPC: G01N27/12
- IPC: G01N27/12

Abstract:
本发明为一种铝掺杂氧化钨基的双选择性气敏传感器的制备方法。该方法利用磁控溅射法,将W靶溅射功率调至95‑110W,打开基片旋转控制开关,打开基片挡板,通氧溅射WO3薄膜,20min后,关闭氧气;将Al靶溅射功率调至40‑42W,溅射Al薄膜6‑10min;再通氧溅射WO3薄膜20min;制备出A‑B‑A三明治结构的薄膜。本发明的气敏传感器在不同工作温度下分别对甲醇与乙醇蒸汽有高选择性、高灵敏度和较短的响应‑恢复时间的优点。
Public/Granted literature
- CN109991286A 一种铝掺杂氧化钨基的双选择性气敏传感器的制备方法 Public/Granted day:2019-07-09
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