一种Micro-LED的巨量转移装置及转移方法
Abstract:
本发明公开一种Micro-LED的巨量转移装置,包括固晶焊臂、覆晶焊臂、外加物理场装置和操作台;固晶焊臂包括固晶导轨、固晶托架、固晶转移头和固晶弹性伸缩材料;覆晶焊臂包括覆晶旋转电机、覆晶导轨、覆晶托架、覆晶转移头和覆晶弹性伸缩材料。相应的,本发明还提供了一种Micro-LED的巨量转移方法。本发明的Micro-LED的巨量转移装置及转移方法,创新性地克服了目标基板Micro-LED间距只能取决于转移头模板间距的这一限制,通过弹性伸缩材料替代原有转移头之间的刚性结构,并通过外加物理场改变弹性伸缩材料纵向形变,实现电子元件间距完全可控的巨量转移。
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