Invention Publication
- Patent Title: 一种Micro-LED的巨量转移装置及转移方法
- Patent Title (English): Micro-LED mass transfer device and transfer method
-
Application No.: CN201811203703.9Application Date: 2018-10-16
-
Publication No.: CN109411392APublication Date: 2019-03-01
- Inventor: 陈新 , 贺云波 , 麦锡全 , 崔成强 , 刘强 , 张凯 , 高健 , 杨志军 , 陈桪 , 陈云 , 汤晖 , 张昱
- Applicant: 广东工业大学
- Applicant Address: 广东省广州市大学城外环西路100号
- Assignee: 广东工业大学
- Current Assignee: 广东工业大学
- Current Assignee Address: 广东省广州市大学城外环西路100号
- Agency: 佛山市禾才知识产权代理有限公司
- Agent 刘羽波; 资凯亮
- Main IPC: H01L21/67
- IPC: H01L21/67 ; H01L33/48 ; H01L33/62

Abstract:
本发明公开一种Micro-LED的巨量转移装置,包括固晶焊臂、覆晶焊臂、外加物理场装置和操作台;固晶焊臂包括固晶导轨、固晶托架、固晶转移头和固晶弹性伸缩材料;覆晶焊臂包括覆晶旋转电机、覆晶导轨、覆晶托架、覆晶转移头和覆晶弹性伸缩材料。相应的,本发明还提供了一种Micro-LED的巨量转移方法。本发明的Micro-LED的巨量转移装置及转移方法,创新性地克服了目标基板Micro-LED间距只能取决于转移头模板间距的这一限制,通过弹性伸缩材料替代原有转移头之间的刚性结构,并通过外加物理场改变弹性伸缩材料纵向形变,实现电子元件间距完全可控的巨量转移。
Public/Granted literature
- CN109411392B 一种Micro-LED的巨量转移装置及转移方法 Public/Granted day:2019-06-25
Information query
IPC分类: