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Invention Publication
CN103663343A 电子装置及其制造方法、以及振荡器 无效 - 撤回

电子装置及其制造方法、以及振荡器
Abstract:
本发明提供电子装置及其制造方法、以及振荡器，该电子装置能够抑制对配置有功能元件的空腔部进行划定的覆盖层发生挠曲。电子装置（100）包含：基板（10）；空腔部（30），其形成在基板（10）的上方，在内部配置有功能元件（20）；以及划定空腔部（30）的覆盖构造体（40），覆盖构造体（40）具有：第1包围壁（42），其位于基板（10）的上方，且形成于空腔部（30）的周围；第2包围壁（44），其位于第1包围壁（42）的上方，且形成于空腔部（30）的周围；以及划定空腔部（30）的上表面的覆盖层（46），第2包围壁（44）在俯视时位于第1包围壁（42）的内侧。
Abstract(English):

The invention provides an electronic device, a method of manufacturing the same, and an oscillator. The electronic device can restrain a covering layer defining a cavity with a functional device from being bended. The electronic device (100) includes a substrate (10), a cavity part (30) formed above the substrate (10) with a functional device (20) placed therein, a coating structure (40) that defines the cavity part(30), and the coating structure (40) has a first surrounding wall (42) formed around the cavity part (30) above the substrate (10), a second surrounding wall (44) formed around the cavity part (30) above the first surrounding wall (42), a coating layer (46) that defines an upper surface (46) of the cavity part (30), wherein the second surrounding wall (44) is located inside the first surrounding wall (42) in a plan view.

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