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层叠体及其制造方法
Abstract:
本发明提供一种层叠体及其制造方法。层叠体(1)具备陶瓷基板(11)、压电元件(10)、和中间层(15)。压电元件(10)具有下部电极(12)。中间层(15)形成于基板(11)和压电元件(10)的下部电极(12)之间。中间层(15)含有与下部电极(12)的金属不同的金属和/或其氧化物作为主要成分,而且包含孔(152)。
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