Invention Publication
CN101176167A 用于电化学、电学或形貌分析的传感器
无效 - 撤回
- Patent Title: 用于电化学、电学或形貌分析的传感器
- Patent Title (English): Sensors for electrochemical, electrical or topographical analysis
-
Application No.: CN200580032008.5Application Date: 2005-09-23
-
Publication No.: CN101176167APublication Date: 2008-05-07
- Inventor: F·B·普林兹 , Y·陶 , R·J·法斯钦 , R·S·格瑞科 , K·哈默里克 , R·L·史密斯
- Applicant: 利兰·斯坦福青年大学托管委员会
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 利兰·斯坦福青年大学托管委员会
- Current Assignee: 利兰·斯坦福青年大学托管委员会
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 沙永生
- Priority: 60/613,173 2004.09.23 US
- International Application: PCT/US2005/034234 2005.09.23
- International Announcement: WO2006/034470 EN 2006.03.30
- Date entered country: 2007-03-22
- Main IPC: G12B21/02
- IPC: G12B21/02 ; B82B1/00 ; G12B21/06 ; B82B3/00 ; G01N13/10 ; H01L21/3065 ; G01N13/24
Abstract:
提供了用于进行电学、电化学或形貌分析的传感器和系统，以及制造这些传感器的方法。所述传感器包括悬臂和一个或多个探针，每个探针的尖端具有一个电极。所述探针的尖端是尖锐的，曲率半径约小于50纳米。另外，所述探针具有约大于19∶1的高长宽比。所述传感器适用于原子力显微镜和扫描电化学显微镜。
Information query
