研磨工具及其制造方法和重制方法

    公开(公告)号:CN101247923B

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200680030735.2

    申请日:2006-08-25

    Applicant: 石塚博

    Inventor: 石塚博

    Abstract: 本发明提供一种解决了磨粒对基板的固定安装强度问题以及不均匀的研磨面问题等且可高效率地进行加工的研磨工具及其有效的制造方法。本发明特别涉及一种CMP垫片修整器中所使用的研磨工具及其制造方法,该研磨工具是具有研磨部的研磨工具(1),该研磨部由一体烧结于超硬合金的衬里材料上的超磨粒烧结体构成,研磨部包含具有顶部的多个研磨单位(2),各顶部处于相互大致同一个平面上,研磨单位(2)是通过在该研磨部上设置直线槽(3)群而形成。

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