阻气膜和阻气膜的制造方法

    公开(公告)号:CN104023971A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201280053719.0

    申请日:2012-10-12

    Abstract: 本发明提供具有优异的阻气性的阻气膜及这种阻气膜的制造方法。即,在基材上形成阻气层而成的阻气膜及这种阻气膜的制造方法,阻气层至少含有氧原子、硅原子、氮原子,将阻气层的与基材相接的面作为基材侧、将其相反面作为表面侧时,从表面侧朝向基材侧包含利用XPS测定而测得的氮量、硅量以及氧量成为以下关系的区域:按氧量>硅量>氮量的顺序形成的第1区域、按硅量>氧量>氮量的顺序形成的第2区域、按氧量>硅量>氮量的顺序形成的第3区域。

    阻气膜和阻气膜的制造方法

    公开(公告)号:CN104023971B

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201280053719.0

    申请日:2012-10-12

    Abstract: 本发明提供具有优异的阻气性的阻气膜及这种阻气膜的制造方法。即,在基材上形成阻气层而成的阻气膜及这种阻气膜的制造方法,阻气层至少含有氧原子、硅原子、氮原子,将阻气层的与基材相接的面作为基材侧、将其相反面作为表面侧时,从表面侧朝向基材侧包含利用XPS测定而测得的氮量、硅量以及氧量成为以下关系的区域:按氧量>硅量>氮量的顺序形成的第1区域、按硅量>氧量>氮量的顺序形成的第2区域、按氧量>硅量>氮量的顺序形成的第3区域。

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