公开(公告)号：CN104704617B

公开(公告)日：2018-03-20

申请号：CN201380053394.0

申请日：2013-12-16

Applicant: 弗立泽姆公司 ,  瑞士材料科学技术研究所

Inventor： 阿德里安·希里拉 ,  史蒂芬·布撤勒 ,  费边·皮内泽 ,  帕特里克·莱因哈德 ,  阿约蒂亚·纳什·蒂瓦里

IPC: H01L21/36 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L31/0323 ,  C23C14/14 ,  C23C14/24 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/02631 ,  H01L31/18

Abstract: 用于制造薄膜光电装置(100)的方法(200)和沉积区设备(300)，该方法包括：提供一个钾不扩散衬底(110)；形成一个背接触层(120)；形成至少一个吸收层(130)，该吸收层由一种ABC硫族化物材料制成；添加至少两种不同的碱金属；以及形成至少一个前接触层(150)，其中所述至少两种不同的碱金属中的一者是钾并且其中，在形成所述前接触层之后，在从背接触层(120)(不包括背接触层(120))到前接触层(150)(包括前接触层(150))的层区间(470)中，由添加至少两种不同的碱金属产生的包含量对于钾是在500到10000ppm的范围内，并且对于所述至少两种不同的碱金属中的另一者是在5到2000ppm的范围内并且是该钾的包含量的至多1/2并且至少1/2000。该方法(200)和设备(300)对于以高光伏转化效率和更快的生产速率在柔性衬底上更环境友好地生产光伏装置(100)是有利的。

公开(公告)号：CN104704617A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201380053394.0

申请日：2013-12-16

Applicant: 弗立泽姆公司 ,  瑞士材料科学技术研究所

Inventor： 阿德里安·希里拉 ,  史蒂芬·布撤勒 ,  费边·皮内泽 ,  帕特里克·莱因哈德 ,  阿约蒂亚·纳什·蒂瓦里

IPC: H01L21/36 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L31/0323 ,  C23C14/14 ,  C23C14/24 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/02631 ,  H01L31/18

Abstract: 用于制造薄膜光电装置(100)的方法(200)和沉积区设备(300)，该方法包括：提供一个钾不扩散衬底(110)；形成一个背接触层(120)；形成至少一个吸收层(130)，该吸收层由一种ABC硫族化物材料制成；添加至少两种不同的碱金属；以及形成至少一个前接触层(150)，其中所述至少两种不同的碱金属中的一者是钾并且其中，在形成所述前接触层之后，在从背接触层(120)(不包括背接触层(120))到前接触层(150)(包括前接触层(150))的层区间(470)中，由添加至少两种不同的碱金属产生的包含量对于钾是在500到10000ppm的范围内，并且对于所述至少两种不同的碱金属中的另一者是在5到2000ppm的范围内并且是该钾的包含量的至多1/2并且至少1/2000。该方法(200)和设备(300)对于以高光伏转化效率和更快的生产速率在柔性衬底上更环境友好地生产光伏装置(100)是有利的。