公开(公告)号：CN119846899A

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202410484039.9

申请日：2024-04-19

Applicant: 广东比亚迪节能科技有限公司

Inventor： 胡玉林 ,  贺晓旭 ,  刘国宁 ,  皮文博 ,  梁汉英

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  F24F11/89 ,  G01N27/12 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  F24F110/72 ,  F24F110/65

Abstract: 本发明公开了一种敏感层及其制备方法、MEMS气体传感器及其制备方法和空调，所述敏感层的制备方法，包括以下步骤：将敏感材料分散在光刻胶中获得敏感材料浆料；将所述敏感材料浆料涂布在基片上形成浆料涂层，采用光刻工艺实现浆料涂层的图形化，再经热处理，即获得敏感层。根据本发明的敏感层的制备方法，可以提高光刻工艺在本发明的制备方法中的兼容性，减少了工艺流程，提高了产品的一致性，降低了生产成本。