一种化学气相沉积炉的导流装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117488277A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202311659380.5

    申请日:2023-12-05

    Abstract: 本发明公开了一种化学气相沉积炉的导流装置,包括阿基米德螺线导流锥和十字导流支架,所述阿基米德螺线导流锥包括锥本体和阿基米德螺线,所述阿基米德螺线分布在所述锥本体的锥面上形成导流槽,所述十字导流支架包括带孔底座和导流杆,所述阿基米德螺线导流锥安插于带孔底座上,所述带孔底座与导流杆连通,本发明采用阿基米德螺线导流和十字导流支架组合的方式,相比于其他模具,提高了沉积均匀性,既保证多路气体均匀混合又控制气体流场沿径向均匀分布,提高了沉积效率。

    一种沉积PyC/SiC界面相的制备方法、陶瓷基复合材料

    公开(公告)号:CN117003572A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202310959493.0

    申请日:2023-08-01

    Abstract: 本发明提供了一种沉积PyC/SiC界面相的制备方法,包括以下步骤:S1、将碳纤维预制体置于化学气相沉积炉中,抽真空,在氮气保护下提升温度至950‑1000℃,并控制压力为5‑10kPa,通入丙烯,沉积30min‑2h,关闭丙烯的通入路径,完成PyC的沉积;S2、在步骤S1的基础上,继续将温度提升至1300‑1500℃,并控制压力为3‑10kPa,通入甲基三氯硅烷(MTS)和氢气,沉积10min‑1h,关闭甲基三氯硅烷和氢气的通入路径,完成SiC的沉积,降温并将压力升至常压,得到PyC/SiC界面相。本发明的制备方法解决了目前制备的PyC/SiC多层界面相无法均匀沉积的问题。

    一种自动取料称重吹散喂料装置

    公开(公告)号:CN114108140A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111342960.2

    申请日:2021-11-12

    Abstract: 本发明公开了一种自动取料称重吹散喂料装置,包括:取料驱动模块;称重箱;吹散驱动模块;所述取料驱动模块、称重箱和吹散驱动模块依次设置;称重传感器,用于获取称重箱的重量数据;控制器,根据所述重量数据调节所述吹散驱动模块产生的风力将称重箱中的物料吹散;以及,根据所述重量数据调节取料驱动模块的取料量。本发明能够通过驱动模块将碳纤维送入、推出称重箱,称重传感器实时获取称重数据,吹散驱动模块根据称重数据调节风力,将称重箱中推出的碳纤维吹散,使碳纤维以匹配传送带速度均匀可控地分散在传送带上。在投喂料阶段自动取料、动态称重、自动铺料,大大减轻工人劳动强度,提高所喂物料性能质量,保证制备产品的性能参数可控可靠。

    一种沉积PyC/SiC界面相的制备方法、陶瓷基复合材料

    公开(公告)号:CN117003572B

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202310959493.0

    申请日:2023-08-01

    Abstract: 本发明提供了一种沉积PyC/SiC界面相的制备方法,包括以下步骤:S1、将碳纤维预制体置于化学气相沉积炉中,抽真空,在氮气保护下提升温度至950‑1000℃,并控制压力为5‑10kPa,通入丙烯,沉积30min‑2h,关闭丙烯的通入路径,完成PyC的沉积;S2、在步骤S1的基础上,继续将温度提升至1300‑1500℃,并控制压力为3‑10kPa,通入甲基三氯硅烷(MTS)和氢气,沉积10min‑1h,关闭甲基三氯硅烷和氢气的通入路径,完成SiC的沉积,降温并将压力升至常压,得到PyC/SiC界面相。本发明的制备方法解决了目前制备的PyC/SiC多层界面相无法均匀沉积的问题。

    模具控制方法及装置、旋转进气模具和化学气相沉积系统

    公开(公告)号:CN117821942A

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202410014888.8

    申请日:2024-01-04

    Abstract: 本公开涉及一种模具控制方法及装置、旋转进气模具和化学气相沉积系统,涉及化工工程技术领域。其中,所述旋转进气模具的设计方法,包括:在模具主体的反应室内一侧设置不可旋转的底盘;将所述不可旋转的底盘与至少2个支撑轴的一端连接,将所述至少2个支撑轴分别通过对应的支撑主体另一端与模具主体连接;在所述不可旋转的底盘相对侧的所述模具主体的反应室内设置有可转动的旋转进气装置,并将所述旋转进气装置与所述模具主体外侧的进气管路连接。本公开实施例可实现提高化学气相沉积过程的效率和可控性。

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