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公开(公告)号：CN104807855B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201510031710.5
申请日：2015-01-22
Applicant: 先技股份有限公司
IPC: G01N27/00
CPC classification number: G01N33/004
Abstract: 一种微机电气体感测装置，包括基板、氧化层、加热单元、导热金属层、钝化层与感测单元层。基板具有第一空腔。氧化层具有第一面与相对第一面的第二面，氧化层配置于基板上，并覆盖第一空腔，且第一面与基板接触。加热单元配置于氧化层内，且邻近于氧化层的第一面。导热金属层配置于加热单元与氧化层的第二面之间。钝化层配置于氧化层的第二面上，且具有至少一孔洞。感测单元层配置于钝化层上，且透过至少一孔洞与导热金属层电性连接。
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公开(公告)号：CN104030230B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201410071664.7
申请日：2014-02-28
Applicant: 先技股份有限公司
CPC classification number: B81B3/0021 , B81C1/00682
Abstract: 本发明公开一种微机电装置，包括一梁柱体、一支撑体、及一接合物。梁柱体具有一第一侧与一第二侧，且第一侧与第二侧彼此相对。支撑体用以支撑梁柱体且相邻但不相连于梁柱体，此支撑体具有一第三侧与相对于第三侧的一第四侧，且支撑体包括多个第一束缚层与多个第二束缚层，这些第一束缚层与这些第二束缚层彼此交错相叠，其中第二侧与第三侧彼此相邻。接合物位于第二侧与第三侧之间、第一侧、及第四侧，此接合物用以接合并绝缘梁柱体与支撑体。本发明的微机电装置增强结构的强度，并使结构稳定、坚固且不变形，可有效改善其灵敏度，以进而提升于微机电的应用范围。
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公开(公告)号：CN104030230A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410071664.7
申请日：2014-02-28
Applicant: 先技股份有限公司
CPC classification number: B81B3/0021 , B81C1/00682
Abstract: 本发明公开一种微机电装置，包括一梁柱体、一支撑体、及一接合物。梁柱体具有一第一侧与一第二侧，且第一侧与第二侧彼此相对。支撑体用以支撑梁柱体且相邻但不相连于梁柱体，此支撑体具有一第三侧与相对于第三侧的一第四侧，且支撑体包括多个第一束缚层与多个第二束缚层，这些第一束缚层与这些第二束缚层彼此交错相叠，其中第二侧与第三侧彼此相邻。接合物位于第二侧与第三侧之间、第一侧、及第四侧，此接合物用以接合并绝缘梁柱体与支撑体。本发明的微机电装置增强结构的强度，并使结构稳定、坚固且不变形，可有效改善其灵敏度，以进而提升于微机电的应用范围。
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公开(公告)号：CN104807858B
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201510031572.0
申请日：2015-01-22
Applicant: 先技股份有限公司
IPC: G01N27/02
CPC classification number: G01N27/028
Abstract: 一种可校正的化学感测装置，包括感测单元、多个第一接垫、数值读出电路、多个第二接垫。感测单元具有第一阻抗元件与多个第二阻抗元件，第一阻抗元件与第二阻抗元件各自具有第一端与第二端，其中第二阻抗元件的阻抗值不相同。第一接垫用以分别与对应的第一端与第二端耦接。数值读出电路具有第一输入端、第二输入端与输出端。第二接垫用以与对应的第一输入端、第二输入端与输出端耦接。其中，透过调整第一接垫与第二接垫的一连接关系，以校正感测单元的阻抗值，并由耦接输出端的第二接垫输出对应感测单元的阻抗值的一感测值。
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公开(公告)号：CN104807858A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510031572.0
申请日：2015-01-22
Applicant: 先技股份有限公司
IPC: G01N27/02
CPC classification number: G01N27/028
Abstract: 一种可校正的化学感测装置，包括感测单元、多个第一接垫、数值读出电路、多个第二接垫。感测单元具有第一阻抗元件与多个第二阻抗元件，第一阻抗元件与第二阻抗元件各自具有第一端与第二端，其中第二阻抗元件的阻抗值不相同。第一接垫用以分别与对应的第一端与第二端耦接。数值读出电路具有第一输入端、第二输入端与输出端。第二接垫用以与对应的第一输入端、第二输入端与输出端耦接。其中，透过调整第一接垫与第二接垫的一连接关系，以校正感测单元的阻抗值，并由耦接输出端的第二接垫输出对应感测单元的阻抗值的一感测值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104807855A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510031710.5
申请日：2015-01-22
Applicant: 先技股份有限公司
IPC: G01N27/00
CPC classification number: G01N33/004
Abstract: 一种微机电气体感测装置，包括基板、氧化层、加热单元、导热金属层、钝化层与感测单元层。基板具有第一空腔。氧化层具有第一面与相对第一面的第二面，氧化层配置于基板上，并覆盖第一空腔，且第一面与基板接触。加热单元配置于氧化层内，且邻近于氧化层的第一面。导热金属层配置于加热单元与氧化层的第二面之间。钝化层配置于氧化层的第二面上，且具有至少一孔洞。感测单元层配置于钝化层上，且透过至少一孔洞与导热金属层电性连接。
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公开(公告)号：CN103910323A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201410009937.5
申请日：2014-01-09
Applicant: 先技股份有限公司
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B3/0072 , B81B2201/0235 , G01P15/125
Abstract: 本发明为一种微机电装置，其包括基板、质量块及多个悬臂。悬臂分别设置于基板的周围与质量块的周围之间且用以支撑氧化层。基板包含平行一轴向多个第一电极和多个第二电极，分别自基板上相对两区延伸而出。基板中央另有蚀刻区，设置于其中央的质量块包含平行同一轴向的多个第三电极与多个第四电极，分别自质量块的相对两侧边延伸而出。第一电极与第三电极交叉相对，第二电极与第四电极交叉相对。本发明以氧化层选择性包覆连接层或硅基板选择性搭配披覆层的方式作为质量块，使微机电装置的结构不受温度变化的影响。
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公开(公告)号：CN103910323B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410009937.5
申请日：2014-01-09
Applicant: 先技股份有限公司
Abstract: 本发明为一种微机电装置，其包括基板、质量块及多个悬臂。悬臂分别设置于基板的周围与质量块的周围之间且用以支撑氧化层。基板包含平行一轴向多个第一电极和多个第二电极，分别自基板上相对两区延伸而出。基板中央另有蚀刻区，设置于其中央的质量块包含平行同一轴向的多个第三电极与多个第四电极，分别自质量块的相对两侧边延伸而出。第一电极与第三电极交叉相对，第二电极与第四电极交叉相对。本发明以氧化层选择性包覆连接层或硅基板选择性搭配披覆层的方式作为质量块，使微机电装置的结构不受温度变化的影响。
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公开(公告)号：CN104883651B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201510063342.2
申请日：2015-02-06
Applicant: 先技股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R17/02 , B81B3/0051 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , H04R2201/003
Abstract: 一种微机电麦克风装置，包括基板、微机电麦克风薄膜与氧化层。基板具有第一凹陷部。微机电麦克风薄膜位于基板上方且覆盖第一凹陷部并定义出第一空腔，微机电麦克风薄膜包括弹性部与结合部。弹性部位于微机电麦克风薄膜的中央位置，且被多个第一沟槽包围，所述多个第一沟槽彼此分离地沿弹性部的边缘排列并贯穿弹性部的相对两面。结合部位于微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接弹性部。氧化层具有第二凹陷部，连接微机电麦克风薄膜的结合部，第二凹陷部暴露出至少部分的微机电麦克风薄膜。
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