公开(公告)号：CN1310809A

公开(公告)日：2001-08-29

申请号：CN00800643.1

申请日：2000-05-30

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 富川真佐夫 ,  諏访充史 ,  藤田阳二

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/037 ,  C08L77/06 ,  C08L79/08

Abstract: 提供一种与正型感光性树脂母体组合物有关的、能够碱性显影的感光性组合物,其特征在于,含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物,且满足下述条件(a)或(b)。(a)含有偶极矩在0.1德拜以上、1.6德拜以下的至少1个酚化合物与萘醌二叠氮基磺酸的酯；(b)含有通式(8)所示的酚化合物与萘醌二叠氮基磺酸和/或通式(8)所示的酚化合物与萘醌二叠氮基磺酸的酯，(通式(1)中,R1表示至少具有2个以上碳原子的2价～8价有机基团,R2表示具有至少2个以上碳原子的2价～6价有机基团,R3表示氢或碳原子数1～10的有机基团。n为10～100000的整数,m为0～2的整数,p、q为0～4的整数。p与q不能同时为0。)(式(8)中,R23、R24、R26、R27表示氢原子、碳原子数1～8的烷基、烷氧基、羧基、酯基的任一种。R25至少有1个含有羟基,其他为氢原子、碳原子数1～8的烷基。aa、bb、cc为0～3的整数。其中,aa+bb≤5,bb+dd≤5、aa+bb>0。ee表示1～3的整数。)