透镜组件
    82.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106104348B

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201580013776.X

    申请日:2015-03-06

    Abstract: 本发明提供一种透镜组件。将一侧透镜设为在与另一侧透镜相对的透镜面的包含边缘部在内的整个区域的范围内具有由微细凹凸结构膜构成的功能膜的透镜,利用平坦化部件填埋微细凹凸结构膜的形成于边缘部的部分并使其平坦化。在形成有该平坦化部件的边缘部与另一侧透镜接触配置而组装透镜组件。

    结构物的制造方法
    83.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107533155A

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201680022785.X

    申请日:2016-03-17

    Abstract: 本发明提供一种结构物的制造方法,其为具有通过进行温水处理而形成的透明的微细凹凸结构体的结构物的制造方法,该方法形成更微细的凹凸结构。一种结构物的制造方法,其为制造具有基材(11)及通过进行温水处理而形成于表面的透明的微细凹凸结构体(12c)的结构物(10)的结构物的制造方法,该结构物的制造方法具有:第一工序,在基材(11)上形成透明的微细凹凸结构体(i2c)的前体膜(12);第二工序,在前体膜(12)的表面形成微细凹凸结构;及第三工序,对形成有微细凹凸结构的前体膜(12a)进行温水处理来形成透明的微细凹凸结构体(12c),在第二工序中所形成的微细凹凸结构的凹凸的空间频率的峰值v0满足v<v0(式I)。在式I中,v0为微细凹凸结构的空间频率的峰值,v为在前体膜的表面不形成微细凹凸结构时的透明的微细凹凸结构体的空间频率的峰值。

    光器件及曝光装置
    84.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101299088B

    公开(公告)日:2010-11-10

    申请号:CN200810094943.X

    申请日:2008-04-30

    Abstract: 一种能抑制光输出的降低的光器件及曝光装置。本发明的光器件包含出射短波长(例如160~500nm)的激光的激光光源、透镜、透明部件及光纤而构成。还有,按透明部件和光纤的抵接面上的光密度为140[W/mm2]以下的方式构成光器件。这样就能抑制熔化所造成的光输出的降低。

    光器件及曝光装置
    85.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101299088A

    公开(公告)日:2008-11-05

    申请号:CN200810094943.X

    申请日:2008-04-30

    Abstract: 一种能抑制光输出的降低的光器件及曝光装置。本发明的光器件包含出射短波长(例如160~500nm)的激光的激光光源、透镜、透明部件及光纤而构成。还有,按透明部件和光纤的抵接面上的光密度为140[W/mm2]以下的方式构成光器件。这样就能抑制熔化所造成的光输出的降低。

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