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公开(公告)号:CN105177718A
公开(公告)日:2015-12-23
申请号:CN201510354323.5
申请日:2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法,它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作六边角锥体的问题。本方法如下:将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中,将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀,然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片,再氮气吹干,即得六边角锥体图形化蓝宝石。本发明的六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法能有效地将圆锥形图形化蓝宝石转化为六边角锥体图形化蓝宝石,且生成的六边角锥体图形化蓝宝石规则有序,重复性好。且采用的设备简单,操作方便,易于掌握,过程安全、无污染。本发明属于蓝宝石的制备领域。
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公开(公告)号:CN102862238B
公开(公告)日:2014-12-03
申请号:CN201210344292.1
申请日:2012-09-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D5/00
Abstract: 一种基于频域误差分配的超精密飞切机床精度设计方法,它涉及一种超精密加工机床精度设计方法,以解决现有超精密飞切机床的设计,没有考虑工件表面的频域误差要求,工件的加工质量和可靠性较差,应用于大型光学系统中适应性差的问题,所述设计方法的主要步骤为:步骤一、确定刀具和工件耦合条件下的动态波动估计模型;步骤二、得到刀尖处的频域误差分布;步骤三、分析产生飞切机床误差的误差单元;步骤六、确定所述的各个误差单元的频域误差组合原则;步骤四、确定各个误差单元在频域内相对于刀尖处的误差敏感度系数;步骤五、确定在一定空间频率区间内所述的各个误差单元的频域误差分布。本发明用于超精密飞切机床精度设计。
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公开(公告)号:CN102935525B
公开(公告)日:2014-11-19
申请号:CN201210486506.9
申请日:2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双主轴式超精密飞切铣床,涉及一种铣床。为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括龙门式床身、纵向直线导轨系统、卧式电主轴系统左、卧式电主轴系统右及空气隔振支撑系统;纵向直线导轨系统位于龙门式床身的中部并固定在基座上;卧式电主轴系统左设置在左立柱上,卧式电主轴系统右设置在右立柱上,纵向直线导轨系统位于卧式电主轴系统左和卧式电主轴系统右之间,真空吸盘左和卧式电主轴系统左相对设置,真空吸盘右和卧式电主轴系统右相对设置。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削,而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式,具有高精度、高刚度的优点。
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公开(公告)号:CN103341788A
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201310268014.7
申请日:2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法,涉及静压主轴动态特性检测领域。解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态特性在线检测或现有方法测量基准面的安装精度对测量结果影响较为严重的问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面,将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准,采用两个高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与两个高精度位移传感器之间的位移变化,通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理,实现超精密直驱式静压主轴动态特性的在线测量,由于采用两通道同时测量,同时实现主轴的轴向窜动和径向偏摆特性的检测。
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公开(公告)号:CN103335833A
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:CN201310272441.2
申请日:2013-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M13/00
Abstract: 在线测量超精密静压主轴动态性能的装置及采用该装置测量静压主轴动态性能的方法,本发明涉及一种超精密静压主轴动态性能在线测量方法。本发明解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测量或现有方法难以解决测量基准的安装误差和制造误差对测量结果产生影响的问题。本发明采用高精度位移传感器采集传感器与标准球之间的位移信息,获得的位移信息经信号放大器进行放大,经A/D转换电路和数据采集电路后输入至计算机;采用旋转编码器对主轴的相位信息进行采集并输入计算机,通过计算机进行分析与处理,获得超精密静压主轴旋转的动态性能误差数据,完成超精密静压主轴动态性能在线测量。本发明适用于超精密静压主轴动态性能在线测量。
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公开(公告)号:CN103335783A
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:CN201310268076.8
申请日:2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M1/14
Abstract: 一种超精密直驱式静压主轴动平衡方法,它涉及一种静压主轴动平衡方法。为解决现有方法不能实现超精密静压主轴转子的精密动平衡问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面,将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准,采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与高精度位移传感器之间的位移变化,通过传感器信号放大器放大成0-10V的信号后输入动平衡仪,同时将光电测速仪测得的主轴转速信息输入动平衡仪,通过动平衡仪对所测得的信息进行处理得到转子不平衡质量和相位,在动平衡盘上根据动平衡仪指示的相位加入所需的平衡质量块。保证了主轴旋转中心同测量基准球的旋转中心能够很好重合,消除了安装误差对测量结果造成的影响。
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公开(公告)号:CN102975299A
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN201210486509.2
申请日:2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双刀盘式超精密飞切铣床,它涉及一种铣床。本发明为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括大理石T型床身、横向直线导轨系统、纵向直线导轨系统、双刀盘主轴系统、空气隔振支撑系统;横向直线导轨系统与纵向直线导轨系统垂直布置在大理石T型床身上,横向直线导轨系统位于纵向直线导轨系统的两端,双刀盘主轴系统位于纵上溜板上,两个真空吸盘和双刀盘主轴系统形成相对运动。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削,而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式,具有高精度、高刚度的优点。
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公开(公告)号:CN102935525A
公开(公告)日:2013-02-20
申请号:CN201210486506.9
申请日:2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双主轴式超精密飞切铣床,涉及一种铣床。为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括龙门式床身、纵向直线导轨系统、卧式电主轴系统左、卧式电主轴系统右及空气隔振支撑系统;纵向直线导轨系统位于龙门式床身的中部并固定在基座上;卧式电主轴系统左设置在左立柱上,卧式电主轴系统右设置在右立柱上,纵向直线导轨系统位于卧式电主轴系统左和卧式电主轴系统右之间,真空吸盘左和卧式电主轴系统左相对设置,真空吸盘右和卧式电主轴系统右相对设置。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削,而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式,具有高精度、高刚度的优点。
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公开(公告)号:CN102862238A
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN201210344292.1
申请日:2012-09-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D5/00
Abstract: 一种基于频域误差分配的超精密飞切机床精度设计方法,它涉及一种超精密加工机床精度设计方法,以解决现有超精密飞切机床的设计,没有考虑工件表面的频域误差要求,工件的加工质量和可靠性较差,应用于大型光学系统中适应性差的问题,所述设计方法的主要步骤为:步骤一、确定刀具和工件耦合条件下的动态波动估计模型;步骤二、得到刀尖处的频域误差分布;步骤三、分析产生飞切机床误差的误差单元;步骤六、确定所述的各个误差单元的频域误差组合原则;步骤四、确定各个误差单元在频域内相对于刀尖处的误差敏感度系数;步骤五、确定在一定空间频率区间内所述的各个误差单元的频域误差分布。本发明用于超精密飞切机床精度设计。
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公开(公告)号:CN102151853A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN201110109006.9
申请日:2011-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B19/02
Abstract: 一种立式超精密液体静压电主轴系统,它涉及一种静压电主轴系统。本发明为了解决现有的超精密加工机床中,其主轴系统刚度低,电机和主轴间的动力驱动效果差的问题。本发明的轴套上开设环形凹槽,轴套上开设多个轴向回路和多个径向回路,多个轴向回路和多个径向回路相连通,且多个轴向回路和多个径向回路相交于环形凹槽的槽底拐角处,两个第一半环相对套装在轴套上且位于环形凹槽内,油室套与轴套之间形成储油腔,轴套固定安装在轴系支架上,且轴套位于轴系支架内,主轴设置在轴套内,且轴套与主轴之间留有间隙,主轴的上端通过止推板与直流电机系统的输出轴固定连接,主轴的下端与刀盘固定连接。本发明用于立式超精密机床中。
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