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公开(公告)号：CN105548604A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510883030.6
申请日：2015-12-03
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于共面波导传输线的悬臂梁式风速风向传感器及其测量方法，该传感器包括衬底，共面波导传输线以及悬臂梁传感部分。共面波导部分包括生长在衬底表面上的两条互相垂直的信号线，四块分立的地线，其中，信号线交叠的部分采用绝缘层进行隔离。悬臂梁传感部分包括四个锚区以及四个悬臂梁，其中，四个锚区位于共面波导传输线的地线上，四个悬臂梁采用相同的特定工艺制备，形成一定的翘曲，可以在风力的作用下产生位移。通过测量两段共面波导传输线的插入损耗，可以实现二维风速风向的检测。该结果不仅结构简单，更无需消耗直流功耗。
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公开(公告)号：CN103116073B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310028471.9
申请日：2013-01-18
Applicant: 东南大学
Abstract: 基于悬臂梁和直接式功率传感器的微波检测系统及其检测方法，检测系统包括MEMS可重构天线、MEMS可调滤波器、控制电路和微波检测器，微波检测器制备在GaAs衬底上，包括共面波导CPW传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、功合器以及四个结构完全相同的MEMS直接式微波功率传感器。本发明的基于悬臂梁和直接式功率传感器的微波频率和功率检测系统不但具有结构新颖，尺寸较小的优点，而且可以实现微波信号频率和功率检测的集成，与GaAs单片微波集成电路兼容。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103840744A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201410058341.4
申请日：2014-02-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明是一种物联网射频收发组件中光热电磁振动自供电微纳传感器，由一组尺寸相同的固支梁并排排列构成，固支梁的锚区分别固定在砷化镓衬底上，固支梁的底层是氮化硅层，氮化硅层上面是下极板，下极板上面是压电材料，压电材料上面是上极板，在固支梁下表面制作有天线结构，在固支梁周围环绕有竖立的MEMS热电堆，在固支梁上的中间设有ZnO/p-Si纳米级异质结，在ZnO/p-Si纳米级异质结的两侧的固支梁部分设有圆孔。本发明能够同时收集光能，热能，电磁能和振动能，有效降低射频收发组件的功耗，同时通过对热能、电磁能和振动能的收集，改善了射频收发组件的散热问题和电磁兼容问题，抑制了射频收发组件工作中的抖动，能有效的保证射频收发组件工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN103116067A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310026119.1
申请日：2013-01-18
Applicant: 东南大学
Abstract: 基于固支梁和间接式功率传感器的在线式微波频率检测器及其检测方法，检测器制备在GaAs衬底上，包括共面波导CPW传输线、两个结构完全相同的MEMS固支梁结构、功合器以及三个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器。其中，CPW传输线包括信号线和地线；MEMS固支梁结构包括MEMS固支梁和梁的锚区，悬于信号线上介质层的上方；功合器包括不对称共面带线ACPS信号线、地线和隔离电阻；MEMS间接式微波功率传感器包括终端电阻、金属热偶臂、半导体热偶臂、金属连接线和直流输出块。本发明检测器结构简单新颖，电路尺寸较小，可实现微波信号频率的在线检测，并易于同GaAs单片微波集成电路兼容。
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公开(公告)号：CN102735928A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210204645.8
申请日：2012-06-20
Applicant: 东南大学
IPC: G01R23/06
Abstract: 本发明公开了一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁频率检测器及检测方法，该频率检测器包括功率分配器（PD）、移相器(PS)、低通滤波器(F)和砷化镓金属半导体场效应管，功率分配器，用于接收待侧微波信号，并将该待侧微波信号分成幅度、相位相同的两个支路信号。本发明提供的检测方法包括如下步骤，当在下拉电极（8）加载直流偏置时，悬臂梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，两路微波信号同时加载到栅极（4）上，从而改变源极（2）漏极（3）之间的饱和电流大小；通过一个电容和滤波器之后，检测源极（2）漏极（3）饱和电流的大小最终实现频率的测量。本发明低直流功耗，易测量。
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公开(公告)号：CN102735926A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210204654.7
申请日：2012-06-20
Applicant: 东南大学
IPC: G01R23/02
Abstract: 本发明公开了一种基于微机械砷化镓基固支梁的频率检测器及检测方法，该频率检测器包括功率分配器（PD）、90度移相器(PS)、低通滤波器(F)和砷化镓金属半导体场效应管，功率分配器，用于接收待侧微波信号，并将该待侧微波信号分成幅度、相位相同的两个支路信号，即第一路微波信号和第二路微波信号，并分别输出给砷化镓金属半导体场效应管和90度移相器。该方法包括如下步骤，当在第一下拉电极（81）和第二下拉电极（82）加载直流偏置时，固支梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，两路微波信号同时加载到栅极（4）上；通过一个电容和滤波器之后，检测源极（2）漏极（3）饱和电流的大小最终实现频率的测量。本发明结构简单。
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