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公开(公告)号：CN106498367A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610920789.1
申请日：2016-10-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/27
CPC classification number: C23C16/45563 , C23C16/27 , C23C16/4412
Abstract: 一种用于化学气相沉积金刚石薄膜的紧凑型真空反应装置。属于金刚石薄膜的化学气相沉积技术领域。为了解决真空条件下CVD金刚石薄膜在微刀具上的沉积问题。壳体上下端分别与上盖和底座可拆卸密封连接构成反应室，真空计固定在上盖上，真空计的检测端紧密穿入上盖设置在壳体内，上盖上固定有与壳体内腔相通的管路，针阀固定在上盖的管路上，针阀与管路相通，上盖的观察孔一处固定有观察窗一，上盖上设有多个冷水环槽，壳体的侧壁上的两个观察孔二处各固定有一个观察窗二，电磁阀固定在底座的进气孔处，导气管一端连接于进气箱，另一端与反应室相通，导气管上安装有导气阀门，载物台设置在反应室内并固定在底座上。本发明主要用于对沉积件微刀具表面金刚石薄膜沉积。
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公开(公告)号：CN106282964A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610685787.9
申请日：2016-08-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/27
CPC classification number: C23C16/271
Abstract: 微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，属于化学气相沉积金刚石涂层技术领域。固定端立柱和移动端立柱可拆卸固定于底座上，固定端大电极可拆卸固定于固定端立柱上端，固定端小电极可拆卸固定于固定端大电极上端；移动端立柱的上端固定有支撑板，弹簧固定安装块二可拆卸固定于支撑板上，移动板滑动设置在支撑板上，弹簧固定安装块一可拆卸固定在移动板上，移动端小电极与弹簧固定安装块一可拆卸固定连接，两个拉伸弹簧水平并列设置并固定在两个弹簧固定安装块之间，三根热丝与固定端小电极、固定端大电极及移动端小电极可拆卸固定连接，真空陶瓷电极组件分别与固定端小电极及移动端小电极电连接。本发明用于化学气相沉积金刚石涂层。
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公开(公告)号：CN103217771B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201310178783.8
申请日：2013-05-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/02
Abstract: 大口径凸面透镜正面四点夹持装置，它涉及一种光学元件夹持装置。本发明解决了现有的大口径凸面透镜安装、调试效率低及工作性能难以保证的问题。大口径凸面透镜放置在支撑框上，支撑框的四边中心位置各设置有一个压块垫板每个压块垫板与支撑框固定连接，每个压块垫板上具有两个胶钉平安装孔，胶钉组件穿过胶钉水平安装孔与大口径凸面透镜接触，对大口径凸面透镜的径向位置进行微调，实现大口径凸面透镜的径向定位及固定，每个压块垫板上安装一个压块，每个压块垫板与安装于其上的压块固定连接，每个压块具有两个胶钉竖直安装孔，胶钉组件穿过胶钉竖直安装孔与大口径凸面透镜接触，实现大口径凸面透镜轴向固定。本发明用于夹持大口径凸面透镜。
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公开(公告)号：CN105093466A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510639641.6
申请日：2015-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 大口径光学元件的悬挂式在线拆装装置及拆装方法，它涉及一种在线拆装装置及拆装方法。本发明解决了现有的大口径光学元件的悬挂式在线拆装方法存在拆装维护时间长、装置运行效率低的问题。支撑架侧板、法兰面接口板和支撑架顶板两两相互垂直固装形成支撑架体，支撑架侧板和法兰面接口板均竖直设置，第一微调机构和第二微调机构上下对应设置在支撑架侧板上，第三微调机构固装在支撑架顶板的上端面上，第一起吊装置固装在支撑架顶板的上端面上，第二起吊装置固装在支撑架侧板的下部，且第二微调机构与第二起吊装置位于支撑架侧板的同侧。本发明用于大口径光学元件的悬挂式在线拆装。
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公开(公告)号：CN103760652B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201310691446.9
申请日：2013-12-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种用于大径厚比光栅安装的自动装置，涉及一种用于大径厚比光栅的自动安装装置。本发明在底座和顶板之间安装有外支柱，底箱的下表面固定连接于底座上表面的中心处，涡轮升降机固定连接于底箱的上表面中心处，涡轮升降机的涡轮轴与步进电机的电机轴连接，涡轮升降机的涡轮升降机丝杠与推板下表面固定连接，滑动支杆的一端与推板下表面固定连接，滑动支杆另一端的外表面与底箱上表面处固定连接的滑动轴承配合安装；顶板的上表面固定安装有辅助挡块和定位挡块，光栅连接框浮动安装在顶板上表面上，光栅连接框和顶板的内部为中空，光栅连接框上连接有光栅压块。本发明采用了步进电机和涡轮升降机作为驱动和传动机构，实现了光栅的自动安装。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103212973B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310155810.X
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P19/02
Abstract: 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法，它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装方法。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长，装置运行效率低的问题。本发明主要步骤：打开大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的充压接口法兰，将洁净风机与洁净充气接口相连；将拆装装置运输到转换系统附近；启动洁净风机；打开光学元件拆装接口法兰；调整拆装装置位姿，将其连接到光学元件拆装接口法兰上；拔出箱体盖板；通过操作口转移光学元件；插入箱体盖板；将拆装装置拆下；封闭拆装接口法兰口；停止洁净风机；将洁净风机从充压接口法兰上拆除，并封闭充压接口；将转运箱运输回百级洁净实验室进行维修。本发明将光学元件的维护周期从2天缩短到2小时。
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公开(公告)号：CN103235392B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201310155857.6
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 高通量大口径高精度透镜四维在线调焦装置，它涉及一种透镜在线调焦装置。该它解决缺少专门的透镜调整机构进行三维精密调节的问题，提供了一种高通量大口径高精度透镜四维在线调焦装置的问题。透镜框内装有透镜，透镜框设在透镜框滑道内，透镜框滑道与升降框连接，升降框在第一导轨和第二导轨内沿竖直方向滑动，水平框沿横向在第三导轨和第四导轨内滑动。本发明用于透镜在线调焦。
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公开(公告)号：CN103230900B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201310155856.1
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B08B5/02
Abstract: 一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置，它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光通过光学元件时会产生气溶胶，污染光学元件表面，光学元件表面需要进一步的清理，目前还没有合适的装置来实现保持激光传输光学元件的洁净度问题。用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置包括进气端气体输送导管、不锈钢气刀、出气端组件；不锈钢气刀和出气端组件相对应安装在光学组件壳体上，不锈钢气刀和出气端组件的安装位置与光学组件壳体内的大口径光学组件相对应，进气端气体输送导管连接在不锈钢气刀的进气口处。本发明用于保持激光传输光学组件的洁净度。
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公开(公告)号：CN103235386B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201310155945.6
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径真空密封元件背装式锁紧装置，涉及真空密封元件锁紧装置，本发明为了解决目前缺少相应装置来实现大口径光学元件的真空密封及快速锁紧机构的问题，本发明包括真空隔离组件、真空隔离导向组件、不脱出螺钉挡板和N个不脱出螺钉；真空隔离导向组件包括两个导向架和两个导向槽，导向槽沿导向架内侧通长设置，两个导向架中的导向槽开口相对分别对应固接在透镜模块壳体相对的两侧端，真空隔离组件通过导向槽进/出透镜模块壳体内腔。本发明具有避免了正装式拆装占用光路空间较大的问题，背装式拆装口较小，充分利用大口径光学聚焦与频率转换系统中有限的拆装空间，提升系统刚度，省时省力。本发明适用于真空隔离组件的在线快速拆装与锁紧。
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公开(公告)号：CN103197397B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201310126855.4
申请日：2013-04-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 本发明提供了一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置，属于光栅拼接的调整装置技术领域。本发明为了解决现有的光栅姿态调整装置驱动刚度低、系统刚度低和整体稳定性差的问题。所述偏摆调整组件位于俯仰面内组件之上，偏摆调整组件的偏摆调整底板与俯仰面内组件的偏摆托框相固接，俯仰面内组件位于平动驱动组件之上，外框组件与平动导轨连接板一、平动导轨连接板二、平动导轨连接板三和平动导轨连接板四固接，平动驱动弯板与外框组件固接。本发明采用了三层结构实现了光栅整体的四个自由度的复合调整，解决了光栅调整架高度受限的问题。采用柔性驱动方式，各个自由度有较大的运动范围，具有结构紧凑、调整精度高和稳定性强等优点。
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