大型精密设备气浮隔振与阻尼防护转运装置与方法

    公开(公告)号:CN115217894B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202210835016.9

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本发明涉及一种大型精密设备气浮隔振与阻尼防护转运装置与方法,属于转运设备技术领域,其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、被动阻尼器、限位单元、高度检测与控制装置和处理器,所述隔振平台支撑被转运设备;所述气浮隔振单元、被动阻尼器、限位单元和高度检测与控制装置分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。通过隔振单元的三向布置实现了三向隔振,能够保证转运过程中姿态恒定的同时有效抑制摇摆晃动,添加阻尼单元和限位单元提高了隔振性能,实现了强冲击作用下的安全防护,解决了现有技术不能实现大型精密设备转运过程中三向精密隔振与冲击防护的转运问题。

    一种面向源直线扫描CT的深度学习Hilbert逆变换重建方法

    公开(公告)号:CN116645442A

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202310666106.4

    申请日:2023-06-06

    Abstract: 一种面向源直线扫描CT的深度学习Hilbert逆变换重建方法,属于CT成像技术领域,包括:初始化直线扫描段数T、旋转角度间隔Δθ,待重建图像零空间利用直线扫描探测器微分DBP算子依次重建T段DBP图像;将获取到的T段DBP图像加权叠加,获得全角度完整DBP图像;由虚拟几何直线扫描的滤波反投影图像获取真实标签图像;利用数据扩充方法增加两类数据的样本数量;将扩充后的数据集作为pix2pix深度学习网络模型的输入进行模型训练,最终输出高质量CT重建图像。本发明能有效减少因引入插值运算而导致图像高频信息损失,可提高由DBP图像复原图像的质量。

    双模复合低压超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115963870A

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN202211218933.9

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 双模复合低压超精密温控装置属于微环境温控设备技术领域,包括密封箱和设置于密封箱内侧的核心发热部件;在密封箱的外侧,设置有抽真空装置,抽真空装置将密封箱内部的压强稳定在低压状态;在密封箱内侧壁上设置有多组辐射对流双模复合控温机构,辐射对流双模复合控温机构对所述密封箱内侧的温度进行调控;密封箱内侧设置有对密封箱内侧环境进行监测的监测组件;在密封箱外侧设置有控制器,控制器获取所述监测组件的测量结果,并基于测量结果控制所述辐射对流双模复合控温机构对密封箱内侧的温度进行调节。通过抽真空装置、辐射对流双模复合控温机构实现对密封箱内侧环境温度的复合控制。

    多模复合双层超精密温控装置

    公开(公告)号:CN115586802A

    公开(公告)日:2023-01-10

    申请号:CN202211218937.7

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 多模复合双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术领域;在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装一级高效保温层,内侧安装循环介质管;在一级钢板密封箱内部,安装密封良好的二级钢板密封箱,在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层,内侧安装辐射对流双模复合控温板;在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装除湿装置、过滤净化装置及传感器组合,在二级钢板密封箱内安装冷却组件;传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器,总控制器以传导辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度;本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。

    导向与驱动一体的两端中心励磁圆柱形电磁执行器

    公开(公告)号:CN115424802A

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202211002141.8

    申请日:2022-08-21

    Abstract: 导向与驱动一体的两端中心励磁圆柱形电磁执行器属于振动计量技术领域,由电磁驱动器和运动组件构成;所述电磁驱动器由圆柱形永磁体、圆筒形长磁轭、圆桶形端磁轭、圆柱形中心磁轭和圆筒形非导磁材料框构成,它们的轴线在一条直线上;所述运动组件由骨架、激励线圈、翅板构成,在骨架上设有气室、进气孔和排气孔,运动组件上的骨架可将运动组件整体轴向滑动地套装在电磁驱动器的圆柱形中心磁轭上,在骨架与圆柱形中心磁轭之间采用气浮导轨结构。本发明完成了精密导向与驱动一体化的电磁执行器,实现了高精度装配和电磁执行器的小型化,提升了电磁执行器的运动精度和负载能力。

    导向与驱动一体的单端侧边励磁立方形电磁执行器

    公开(公告)号:CN115420453A

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202211004018.X

    申请日:2022-08-21

    Abstract: 本发明涉及振动计量技术领域,特别是涉及一种导向与驱动一体的单端侧边励磁立方形电磁执行器,包括电磁驱动部件和运动部件;电磁驱动部件包括下磁轭、设置于下磁轭上侧的呈回字形的永磁体、设置于永磁体上侧的呈回字形的上磁轭;下磁轭、永磁体和上磁轭内侧形成运动腔;在下磁轭上且位于运动腔内侧安装有中心磁轭;中心磁轭和上磁轭之间设置有气隙;运动部件包括位于中心磁轭上侧的工作台面,在工作台面靠近中心磁轭的一侧面设置有线圈骨架,线圈骨架滑动套接于中心磁轭的外侧;线圈骨架的外侧壁缠绕有直流线圈和激励线圈。通过采用上述方案,最大程度地降低了运动部件装配难度,减小了运动部件自重,有效提高了电磁执行器的装配精度和驱动能力。

    分离式正交测量基准及十字运动面配合的形位误差测量仪

    公开(公告)号:CN115388773A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202211003651.7

    申请日:2022-08-20

    Abstract: 本发明涉及一种分离式正交测量基准及十字运动面配合的形位误差测量仪,属于精密测量设备技术领域,包括主机座和立向支撑柱,两根立向支撑柱的顶部设置有轴座;主机座上侧设置有样品固配座,主机座上设置有移动机构;在样品固配座的上侧面竖直设置有横向激光反射镜和纵向激光反射镜;在轴座上沿竖直方向滑动设置有立轴;立轴的上端设置有立向激光反射镜,立轴下端安装有吊挂架,吊挂架下端设置有横向激光干涉仪和纵向激光干涉仪;立轴下端中部设置有探针;轴座的上侧设置有立向支撑架,立向支撑架上设置有立向激光干涉仪。通过采用上述方案,能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。

    基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪

    公开(公告)号:CN115388771A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202211003530.2

    申请日:2022-08-20

    Abstract: 基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪属于精密测量仪器;本测量仪中探针与第一激光反射镜、第二激光反射镜、纵向激光反射镜一体化设计,置于角度位移测量组件相对内侧空间;探针及激光干涉仪固定于零膨胀微晶玻璃上,消除了超精密测量仪器中热膨胀误差对测量精度的影响;使用激光干涉仪测量角度和位移,在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时,使得仪器可以实时补偿测量误差;本发明兼具结构简单和高测量精度的特性,可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。

    基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪

    公开(公告)号:CN115371556A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202211003660.6

    申请日:2022-08-20

    Abstract: 本发明涉及一种基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪,属于精密测量设备技术领域;前后主机座上端面设置楔形槽,可纵向往复移动配装带有第一激光反射面、第二激光反射面、纵向激光反射面的纵向气浮滑块,纵向气浮滑块安装于半圆运动框架内侧,配装有第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、纵向激光干涉仪及探针的半圆运动框架可沿立向和横向运动;同时探针测头位置置于半圆运动框架中的圆心位置,且第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、纵向激光干涉仪测距激光光束汇聚于探头测头位置,通过上述方案,从结构设计上消除了一阶测量误差,能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。

    基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪

    公开(公告)号:CN115371555A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202211003630.5

    申请日:2022-08-20

    Abstract: 本发明涉及一种基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪,属于精密测量设备技术领域,包括主机座和立向支撑柱,两根立向支撑柱的顶部设置有轴座;主机座上侧设置有样品固配座,主机座上设置有移动机构;样品固配座上端面设置有横向激光反射镜、纵向激光反射镜和立向激光反射镜;立轴下端面安装有吊挂架,吊挂架下端设置有横向激光干涉仪、纵向激光干涉仪和立向激光干涉仪。通过采用上述方案,能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。

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