一种大径高比超精密液体静压转台

    公开(公告)号:CN103111855B

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201310052562.6

    申请日:2013-02-18

    CPC classification number: F16C32/0696 F16C2300/14 F16C2322/39

    Abstract: 一种大径高比超精密液体静压转台,属于超精密制造装备技术领域。以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床要求。上、下浮节流器安装于上、下浮止推板上,上浮止推板与转台底座固接,下浮止推板通过内隔环与转台底座固接,下浮止推板置于上浮板的环形槽内,径向轴瓦通过下浮止推板和内隔环与转台底座固接,主轴与上浮板固接,液压油经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮液体静压止推油膜,在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推油膜,在径向轴瓦和主轴之间形成径向静压支承油膜,从而形成轴向闭式液体静压平面圆环止推轴承和径向液体静压圆柱轴承。本发明用于加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床。

    一种大直径超精密气体静压回转轴系

    公开(公告)号:CN103056397B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201210589483.4

    申请日:2012-12-31

    Abstract: 一种大直径超精密气体静压回转轴系,属于超精密制造装备技术领域。以满足大尺寸KDP晶体等光学元件加工需求。数个上、下浮节流器圆周均布安装于上、下浮止推板上,上浮板与下浮板固接,下浮止推板与固定支承座固接,上浮止推板通过内隔环与固定支承座固接,上浮止推板和连接板置于下浮板的外、内环形槽内,径向轴瓦通过连接板和内隔套与固定支承座固接,主轴与下浮板固接,压缩空气经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮静压止推气膜,在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推气膜,在径向轴瓦与主轴之间形成径向静压支承气膜,从而形成轴向闭式气体静压平面圆环止推轴承和径向气体静压圆柱轴承。本发明用于大尺寸KDP晶体等光学元件加工。

    一种微应力条件下接触热阻检测装置

    公开(公告)号:CN104132963A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201410390771.6

    申请日:2014-08-08

    Abstract: 一种微应力条件下接触热阻检测装置,涉及接触热阻检测技术领域。解决了传统的接触热阻检测装置只能检测被测件在较大应力下的传热情况,无法实现微应力以致无应力状态下的接触热阻状况,同时存在材料本身自重产生的接触应力作用不能消除的问题。本发明所述检测装置通过螺杆和螺母的配合使左固定板和右固定板将被测件夹紧,通过螺母控制弹簧的伸长量,从而实现被测件的微应力加载,由于螺母上刻有刻度,因此能够确定螺杆的伸长量,进而确定被测件之间的预应力,同时通过升降台对被测件进行支撑;通过隔热元件将左固定板和支撑架隔开,使得加热板中的热量不会通过支撑架传递至真空罩,从而使热量能够集中,提高检测精度。本发明适用于对接触热阻进行检测。

    一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置

    公开(公告)号:CN103197397B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201310126855.4

    申请日:2013-04-13

    Abstract: 本发明提供了一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置,属于光栅拼接的调整装置技术领域。本发明为了解决现有的光栅姿态调整装置驱动刚度低、系统刚度低和整体稳定性差的问题。所述偏摆调整组件位于俯仰面内组件之上,偏摆调整组件的偏摆调整底板与俯仰面内组件的偏摆托框相固接,俯仰面内组件位于平动驱动组件之上,外框组件与平动导轨连接板一、平动导轨连接板二、平动导轨连接板三和平动导轨连接板四固接,平动驱动弯板与外框组件固接。本发明采用了三层结构实现了光栅整体的四个自由度的复合调整,解决了光栅调整架高度受限的问题。采用柔性驱动方式,各个自由度有较大的运动范围,具有结构紧凑、调整精度高和稳定性强等优点。

    一种极地低温环境下使用的精密微位移促动器

    公开(公告)号:CN104049335A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201410273276.7

    申请日:2014-06-18

    Abstract: 一种极地低温环境下使用的精密微位移促动器,它涉及一种精密微位移促动器。本发明为了解决目前没有适用于极地低温环境下的大型拼接镜面望远镜子镜上的支撑和调节机构的问题。本发明垫板安装在壳体内,滚动直线导轨安装在垫板上,左端盖和右端盖分别盖装在壳体的两端,柔性轴安装在驱动杆上,电机座安装在滚动直线导轨上,步进电机安装在电机座上,螺杆的一端通过弹性联轴器与步进电机连接,基座安装在垫板上,套筒安装在基座内,第一螺母安装在驱动杆左端,第二螺母安在套筒的右端部,螺杆的另一端旋拧在第二螺母和第一螺母上,驱动杆一端插入套筒内部,并与第一螺母连接,另一端与柔性轴连接,轴套套装在驱动杆上,预紧弹簧套装在驱动杆上,并被压缩在第一螺母和轴套之间。本发明用于拼接镜面望远镜中。

    一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台

    公开(公告)号:CN103955043A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201410205791.1

    申请日:2014-05-15

    Abstract: 一种用于大尺寸光栅安装测试的五维高精度平台,属于高精度调整装置技术领域。为解决现有大尺寸光栅安装测试平台受中心高限制无法实现五维调整,以及现有四维调整装置整体刚度低、稳定性差问题。两个x轴光电接近开关通过两个x轴光电接近开关座与平动底座固接,十字交叉导轨组件的两根长导轨固定于平动底座上,内侧滑座组件固定于十字交叉导轨组件的四个十字滑块之间,x轴平动驱动组件的x轴滚珠丝杠螺母固定在内侧滑座组件的滑座基体内,y轴平动驱动组件与绕x、y、z轴旋转组件及内侧滑座组件固接,绕x、y、z轴旋转组件与十字交叉导轨组件的两根短导轨固接,光栅安装组件与绕x、y、z轴旋转组件固接。本发明用于大尺寸光栅安装测试。

    一种大口径晶体高精度温度控制装置

    公开(公告)号:CN103794972A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201410066547.1

    申请日:2014-02-26

    Abstract: 一种大口径晶体高精度温度控制装置,涉及一种晶体温度控制装置。针对现有加热装置无法实现大口径晶体精确温度控制并能保持晶体温度梯度控制在0.2℃以内问题。铜环外圆周面固定有加热器,两个内挡环的直端面相对设置并套装在铜环内且与铜环径向可拆卸连接,两个内挡环直端面之间固定有竖直设置的晶体,内固定端盖与铜环固定连接,窗口玻璃片通过内固定端盖密封固定在内挡环斜端面上,加热器外侧套装外壳,外壳两端与外固定端盖固定,测温热电偶固定在铜环上,测温热电偶的显示仪表安装在温控仪上,测温热电偶通过导线与测温热电偶的显示仪表相连,显示仪表输出温度给温控仪,温控仪通过导线与加热器相连。本发明用于大口径晶体高精度温度控制。

    大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置

    公开(公告)号:CN103713102A

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:CN201310744567.5

    申请日:2013-12-30

    Abstract: 大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置,涉及大口径光学元件表面微缺陷修复用联动装置。该装置在大型高精度隔振平台上可实现二维联动,用以辅助晶体表面微缺陷的快速探测、精确定位、循环扫描等后续修复工作。X轴直线单元固定在精密平台上,X轴导轨连接板固定在X轴直线单元运动部件上;步进电机驱动X轴直线单元运动部件运动,Y轴导轨连接板固定在Y轴直线单元运动部件上;Y轴直线单元固定在Y轴导轨托盘中,Y轴导轨托盘与X轴导轨连接板定位连接,Y轴导轨托盘另一端为气浮端,气浮框架通过柔性铰链与Y轴导轨连接板连接。本发明用以辅助实现大口径光学元件晶体表面微缺陷修复时的微缺陷快速探测、精确定位与循环扫描等功能。

    双刀盘卧式超精密液体静压电主轴系统

    公开(公告)号:CN102241084B

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201110108993.0

    申请日:2011-04-28

    Abstract: 双刀盘卧式超精密液体静压电主轴系统,它涉及一种液体静压电主轴系统。本发明为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。第一轴系支架位于壳体内腔的一端,第一轴系支架通过第一固定挡板与壳体固接,第二轴系支架位于壳体内腔的另一端,直流双输出轴电机的第一输出轴通过第一止推板与第一主轴的一端固接,第一主轴的另一端与第一刀盘固接,第一轴套套装在第一主轴上,第一轴套固装在第一轴系支架上;直流双输出轴电机的第二输出轴通过第二止推板与第二主轴的一端固接,第二主轴的另一端与第二刀盘固接,第二轴套套装在第二主轴上,第二轴套固装在第二轴系支架上。本发明的主轴系统用于加工KDP晶体光学零件。

    一种大口径真空密封元件背装式锁紧装置

    公开(公告)号:CN103235386A

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201310155945.6

    申请日:2013-04-28

    Abstract: 一种大口径真空密封元件背装式锁紧装置,涉及真空密封元件锁紧装置,本发明为了解决目前缺少相应装置来实现大口径光学元件的真空密封及快速锁紧机构的问题,本发明包括真空隔离组件、真空隔离导向组件、不脱出螺钉挡板和N个不脱出螺钉;真空隔离导向组件包括两个导向架和两个导向槽,导向槽沿导向架内侧通长设置,两个导向架中的导向槽开口相对分别对应固接在透镜模块壳体相对的两侧端,真空隔离组件通过导向槽进/出透镜模块壳体内腔。本发明具有避免了正装式拆装占用光路空间较大的问题,背装式拆装口较小,充分利用大口径光学聚焦与频率转换系统中有限的拆装空间,提升系统刚度,省时省力。本发明适用于真空隔离组件的在线快速拆装与锁紧。

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