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公开(公告)号：CN111805318A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010628560.7
申请日：2020-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及机械制造领域，公开了硬脆单晶微细圆柱外圆超声辅助磨床的分类与堆码机构，为了解决目前磨床不具备自动检测、分类以及堆垛功能，进而效率低下很难满足市场需求的问题，其结构包括控制柜、柔性接料机械手、辅助检测机械手、自动检测分类装置和自动堆码装置；已加工的工件落入柔性接料机械手，柔性接料机械手，辅助检测机械手将工件转移到自动检测分类装置上，自动检测分类装置分类后将工件放在自动堆码装置的不同收集区域内，较传统方法相比，本发明替代了人工检测，在保证工件合格率的同时提高了检测、分类和堆码的工作效率，具有良好的市场应用前景。
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公开(公告)号：CN111805309A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010627443.9
申请日：2020-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于硬脆单晶圆柱外圆超声振动辅助磨削的全自动磨床，涉及机械设备技术领域。为解决现有的在对硬脆单晶圆柱外圆表面进行磨削时，采用的磨削液为碱性或者酸性，长期使用会腐蚀机床，导致对工件的装夹精度降低，加工出零件的表面精度降低，并且采用人工的方式进行上料，导致工作效率较低的问题。自动上料机构与自动分类及收纳机构呈相互平行分布，全自动磨床分别与自动上料机构和自动分类及收纳机构呈相互垂直分布，磨床基座的上表面一角处设有收纳机构基台，且收纳机构基台的上表面低于磨床基座的上表面，且用于放置自动分类及收纳机构。本发明适用于对硬脆单晶圆柱外圆面进行磨削加工。
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公开(公告)号：CN111044242A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911396097.1
申请日：2019-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M5/00
Abstract: 一种超精密飞切机床主轴与导轨刚度检测装置及检测方法，属于机床性能检测技术领域。本发明解决了现有技术无法实现超精密静压主轴与导轨刚度准确检测的问题。所述第一基准板上由下到上依次固设有力传感器、气缸及定心支杆，支撑板的底端开设有定心孔，所述定心孔与主轴同轴布置，且定心支杆的顶端与所述定心孔配合，第一基准板上方布置有若干导轨位移传感器，第二基准板上方布置有若干主轴位移传感器，且若干所述导轨位移传感器及若干主轴位移传感器分别绕主轴轴线均布，若干主轴位移传感器分别通过导线连接主轴位移信号采集器，若干导轨位移传感器分别通过导线连接导轨位移信号采集器，力传感器通过导线连接力信号采集器。
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公开(公告)号：CN106316468B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201610629882.7
申请日：2016-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 采用AFM金刚石探针对陶瓷材料进行纳米条纹阵列加工的方法，它涉及一种对超硬陶瓷材料局部进行超细纳米条纹阵列结构加工的方法。本发明是为了解决超硬陶瓷材料化学惰性高、硬度大，难加工的技术问题。本方法如下：一、制备AFM金刚石针尖；二、AFM金刚石针尖对超硬陶瓷材料(SiC单晶)表面刻划。本发明是一种对超硬陶瓷材料进行超细纳米条纹阵列结构加工的方法，能直观地观察金刚石晶体对超硬陶瓷材料的刻划情况，在超硬陶瓷材料表面刻划出超细纳米条纹阵列(条纹宽度低至15nm)，具有重复性好、效率高等优点。本发明属于对超硬陶瓷材料进行超细纳米条纹阵列结构加工的领域。
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公开(公告)号：CN105619185B
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201511027840.8
申请日：2015-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 采用青蒿素晶体对陶瓷材料局部抛光的方法，它涉及一种对SiC单晶进行抛光的方法。本发明是为了解决采用金刚石加工SiC，会造成表面损伤，很难达到亚纳米表面粗糙度的技术问题。本方法如下：一、将青蒿素晶体均匀分散在解理的云母表面，将无针尖的原子力显微镜探针在紫外固化灯下辐照30分钟后装针，进针直到无针尖的原子力显微镜探针接触青蒿素晶体，再次将无针尖的原子力显微镜探针在紫外固化灯下辐照30分钟；二、预处理；三、刻划；四、观察刻划区域深度。本发明是一种微区模拟的方法，能直观地观察青蒿素晶体对SiC材料的去除情况，且刻划区域明显，重复性好。本发明属于对陶瓷材料局部抛光的领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104992900B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201510354321.6
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/033 , H01L33/20
Abstract: α‑Al2O3单晶表面SiO2掩膜的制作方法，它涉及一种单晶表面SiO2掩膜的制作方法。本发明是要解决光刻工艺制备SiO2掩膜步骤复杂，成本高，导致现有α‑Al2O3单晶表面SiO2掩膜难以在α‑Al2O3上制备的问题。方法：一、预处理；二、将分散了SiO2球的无水乙醇滴加于α‑Al2O3单晶表面；三、将经步骤二处理后的α‑Al2O3单晶置于室温下5min，然后放置于管式炉中处理，即完成α‑Al2O3单晶表面SiO2掩膜的制作。本发明的能简单地在α‑Al2O3单晶表面制备SiO2掩膜，且可得到微米级六边形SiO2掩膜和纳米级半球形SiO2掩膜，该制备方法重复性好。制备的SiO2掩膜设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。本发明属于掩膜的制备领域。
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公开(公告)号：CN106949852A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710229911.5
申请日：2017-04-10
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法，涉及一种形状误差的检测装置及检测方法。本发明为了解决现有技术中由于环抛加工修正盘具有较大的直径和较高的重量，进而造成激光干涉仪和三坐标测量仪无法直接进行表面形状误差的检测的问题。装置由大理石平尺、U形框、精密定位台、激光位移传感器、支撑平台、和矩形玻璃构成。检测方法：一、吊装环抛加工修正盘并组装装置；二、标出直径；三、调整大理石平尺与环抛加工修正盘工作面平行；四、数据采集。本发明解决了大尺寸修正盘工作面朝下且难以翻转的难题，能够半自动地检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单精度高。本发明适用于检测环抛加工修正盘表面形状误差。
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公开(公告)号：CN104802089B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201510263137.0
申请日：2015-05-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B53/06
Abstract: 一种基于杯形工具球面包络的圆弧砂轮在线修整装置，它涉及一种圆弧砂轮在线修整装置，以解决现有的圆弧砂轮修整方法存在的适应范围小、装置功能单一、修整精度低，以及无法为圆弧砂轮修整提供在线修整的问题，它包括第一步进电机、第二步进电机、连接架、水平连接板、旋转机构、竖向移动机构和水平移动机构；旋转机构包括减速电机和连接组件，第一步进电机和水平移动机构安装在连接架上，竖向移动机构与连接组件连接，减速电机安装在连接组件上，减速电机的输出端安装杯形铜质电极或杯形砂轮；第二步进电机安装在水平连接板上，水平连接板安装在砂轮罩上。本发明用于圆弧砂轮的在线修整。
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公开(公告)号：CN105619185A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201511027840.8
申请日：2015-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B1/00
CPC classification number: B24B1/00
Abstract: 采用青蒿素晶体对陶瓷材料局部抛光的方法，它涉及一种对SiC单晶进行抛光的方法。本发明是为了解决采用金刚石加工SiC，会造成表面损伤，很难达到亚纳米表面粗糙度的技术问题。本方法如下：一、将青蒿素晶体均匀分散在解理的云母表面，将无针尖的原子力显微镜探针在紫外固化灯下辐照30分钟后装针，进针直到无针尖的原子力显微镜探针接触青蒿素晶体，再次将无针尖的原子力显微镜探针在紫外固化灯下辐照30分钟；二、预处理；三、刻划；四、观察刻划区域深度。本发明是一种微区模拟的方法，能直观地观察青蒿素晶体对SiC材料的去除情况，且刻划区域明显，重复性好。本发明属于对陶瓷材料局部抛光的领域。
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公开(公告)号：CN105234820A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510523228.3
申请日：2015-08-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: B24B49/105 , B24B49/165
Abstract: 一种非接触式金属基砂轮圆度误差及磨损量在线检测方法及实现该方法的装置，涉及磨削加工领域中的金属基砂轮圆度误差和砂轮磨损量在线检测技术。它为了解决现有测量金属基砂轮圆度误差及砂轮磨损量的方法应用范围窄的问题。本发明的方案为：固定电涡流传感器的位置，采用电涡流传感器在线检测该电涡流传感器测头与金属基砂轮表面距离，计算得到砂轮不同位置半径变化情况，从而得到金属基砂轮旋转一周的圆度误差曲线。通过比较一段磨削时间后砂轮对应位置半径的变化，计算得到金属基砂轮表面不同位置的磨损量。本发明能够以非接触方式在磨削过程实时检测金属基砂轮磨损量及砂轮圆度误差，检测精度高，适用范围广。
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