公开(公告)号：CN204185555U

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201420609361.1

申请日：2014-10-18

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 曾晓雁 ,  陆永枫 ,  郭连波

IPC: C23C16/48 ,  C23C16/34

Abstract: 本实用新型公开了一种激光辅助低温生长氮化物材料的装置，包括真空反应腔、气体预混合腔、波长可调谐激光器和移动机构；激光器为波长可调谐的CO2激光器，真空反应腔上设置有激光入射窗口和激光出射窗口；激光器的出光口、光斑调节器、激光入射窗口和激光出射窗口依次位于同一光路上，激光出射窗口处安装有激光功率计；加热器位于真空反应腔内，加热器表面用于放置衬底；移动机构用于激光束与衬底产生相对移动。使用本实用新型可以在提高活性氮源利用率和减少环境污染的基础上，实现低温环境下氮化物膜层材料的大面积、快速和高质量生长。

公开(公告)号：CN207571035U

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201721752506.3

申请日：2017-12-15

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 郝中骐 ,  李祥友 ,  李嘉铭 ,  周冉 ,  郭连波 ,  曾晓雁 ,  陆永枫

IPC: G01N21/71

Abstract: 本实用新型公开了一种激光烧蚀辅助共振激光诱导击穿光谱检测装置。该装置包括激光烧蚀、共振激发、光谱采集和系统控制四个部分，采用一束波长固定的光纤激光烧蚀待检测的固体样品，使其熔融、溅射和蒸发，产生持续的气溶胶，将气溶胶转移到一个新的空间位置后，再使用波长可调谐激光对气溶胶进行等离子体激发，将波长调谐至与被分析元素特征谱线对应的共振激发波长一致，使目标元素特征谱线增强，再对等离子体发射光进行采集分析，得到待分析元素含量。本实用新型实现了分析基体的统一，有效提高了信噪比，降低了基体效应和光谱干扰对激光诱导击穿光谱定量分析性能的影响。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN206248550U

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201621361744.7

申请日：2016-12-13

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 郭连波 ,  易荣兴 ,  李嘉铭 ,  杨新艳 ,  周冉 ,  李祥友 ,  陆永枫 ,  曾晓雁

IPC: G01N21/71

Abstract: 本实用新型公开了基于光纤波导循环激发的激光诱导击穿荧光光谱分析系统，包括激光发生模块、共振激发模块和采集模块，激光发生模块包括激光全反镜、聚焦透镜和Nd：YAG激光器，激光全反镜与Nd：YAG激光器位于同一水平光路，聚焦透镜位于激光全反镜正下方；共振激发模块包括OPO激光器、多芯光纤、光纤输出整形模块和两个光纤耦合器，多芯光纤两输入端与两个光纤耦合器相连，输出端与光纤输出整形模块相连；采集模块包括光纤采集头、增强型CCD和计算机，光纤采集头一端对准样品烧蚀点，另一端通过光栅光谱仪与增强型CCD相连，增强型CCD与计算机相连。本系统结构简单，可提高共振激发的增强效果，以提高LIBS的检测极限。

公开(公告)号：CN203758914U

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201320889902.6

申请日：2013-12-31

Applicant: 武汉新瑞达激光工程有限责任公司 ,  华中科技大学

Inventor： 曾晓雁 ,  朱光正 ,  李祥友 ,  郭连波 ,  任昭 ,  郝中骐 ,  李阔湖 ,  郑重 ,  王旭朝 ,  游欣易 ,  陆永枫

IPC: G01N21/63

Abstract: 本实用新型公开了一种基于气雾化与共振激发的激光探针分析仪，它包括Nd:YAG激光器系统、波长可调谐激光器系统、气雾化系统、光谱采集系统和计算机；气雾化系统用于使待分析的溶液产生气溶胶；Nd:YAG激光器用于产生高能激光束，并聚焦到气溶胶上使其激发出等离子体火焰；波长可调谐激光器用于产生所需要的共振激发波长的泵浦激光束，并聚焦在等离子体火焰上，发生共振激发作用；光谱采集系统用于采集共振激发之后产生的特征光谱信号，并转化为电信号后传输到计算机分析溶液的物质成分。该系统克服了现有技术的弊端，大幅度改善LIBS技术在检测溶液中微量元素的检测灵敏度，以达到环境监控等领域的实际应用的要求，同时还能够对液体中的物质进行在线的精确定性和定量分析。

公开(公告)号：CN208224086U

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201820914664.2

申请日：2018-06-13

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 郝中骐 ,  汤志阳 ,  李祥友 ,  周冉 ,  郭连波 ,  曾晓雁 ,  陆永枫

IPC: G01N21/39

Abstract: 本实用新型公开一种显微共振激光诱导击穿光谱检测系统，包括：波长可调谐激光器发射波长可调谐的激光束；比例分束镜将激光束分成两束，得到第一激光束和第二激光束；第一反射率可调滤光片接收第一激光束并调节其能量在第一范围后将其射入聚焦镜，聚焦镜将能量调节后的第一束激光束聚焦并射入样品；第二反射率可调滤光片接收第二激光束并调节其能量在第二范围后将其射入传输光程调节模块；传输光程调节模块用于控制能量调节后的第二激光束的传输光程，使其与第一激光束到达样品表面的时间产生纳秒量级的延时，对待分析元素进行共振激发。本实用新型对一束激光分束，并引入光束延时使两光束延时可调，将显微聚焦与共振激发技术有机结合。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN206497044U

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201720149335.9

申请日：2017-02-20

Applicant: 华中科技大学 ,  武汉新瑞达激光工程有限责任公司

Inventor： 李祥友 ,  郝中骐 ,  熊佛关 ,  杨新艳 ,  李嘉铭 ,  郭连波 ,  陆永枫 ,  曾晓雁

IPC: G01N21/73

Abstract: 本实用新型属于激光诱导击穿光谱检测仪器相关技术领域，其公开了一种可移动式空间约束激光诱导等离子体的装置，其包括同轴光路连接杆、约束腔夹具、空间约束腔、样品夹持组件及移动机构。所述同轴光路连接杆连接于同轴采集激光诱导击穿光谱系统，以使实现两者的同轴定位；所述空间约束腔夹具连接于所述同轴光路连接杆，所述空间约束腔活动的连接于所述约束腔夹具；所述样品夹持组件设置在所述移动机构上，其与所述空间约束腔相对间隔设置；所述样品夹持组件用于夹持样品，所述移动机构通过移动以带动所述样品沿水平方向移动，以改变来自所述同轴采集激光诱导击穿光谱系统的激光聚焦镜的激光束照射在所述样品表面的位置。

公开(公告)号：CN206440616U

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201621484708.X

申请日：2016-12-31

Applicant: 华中科技大学 ,  武汉新瑞达激光工程有限责任公司

Inventor： 李祥友 ,  李嘉铭 ,  熊佛关 ,  朱志豪 ,  郝中骐 ,  沈萌 ,  郭连波 ,  曾晓雁 ,  陆永枫

IPC: G01N21/71 ,  G01N21/01

Abstract: 本实用新型属于激光精密检测相关技术领域，其公开了一种用于激光探针成分分析仪的光路系统，所述光路系统包括光谱采集模块及成像模块。所述光路系统还包括激光控制模块、激光监测模块及照明模块，所述光谱采集模块、所述激光控制模块、所述激光监测模块、所述照明模块及所述成像模块是同轴设置的。所述激光控制模块用于控制激光能量及光斑；所述激光监测模块用于实时监测激光能量；所述光谱采集模块用于实时采集等离子光谱；所述照明模块用于对待测样品表面进行照明，以保证所述待测样品的表面清晰可见；所述成像模块用于对所述待测样品表面成像。所述光路系统同时实现稳定的光谱信息采集和清晰的表面成像。

公开(公告)号：CN206161532U

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201621088532.6

申请日：2016-09-27

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 郭连波 ,  唐云 ,  刘红弟 ,  李祥友 ,  李嘉铭 ,  杨平 ,  曾晓雁 ,  陆永枫 ,  段军

IPC: G01N21/71 ,  G01N21/01

Abstract: 本实用新型公开了一种低成本高灵敏激光探针元素分析仪，包括脉冲激光器，分束镜，激光能量计探头、数字延迟脉冲发生器、数据采集卡、激光能量计、计算机、第一会聚透镜和光电倍增管，第一会聚透镜位于分束镜的反射光路上，等离子体信号采集光学系统用于在被测对象的一侧、从水平方向对激光等离子体信号进行采集，采集光学系统包括依次排列的第二会聚透镜、可调狭缝、第三会聚透镜、窄带滤光片和第四会聚透镜，可调狭缝宽度能在0～10mm范围连续调节，可调狭缝用于对等离子体发射光信号进行空间选择。本实用新型特别适用于物质成分的在线检测，具有成本低，检测灵敏度高，检测速度快的特点，具有广泛的应用前景和市场。

公开(公告)号：CN205607863U

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201620088372.9

申请日：2016-01-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 郭连波 ,  刘红弟 ,  曾晓雁 ,  李祥友 ,  陆永枫 ,  李嘉铭 ,  朱志豪 ,  唐云

IPC: G01N21/71

Abstract: 本实用新型公开了一种高效的多路激光探针分析系统。该分析系统可将激光光源分成多路通过光纤分别传送至多个待测点，激发产生激光等离子体后，将相应的光谱信号传回检测系统，最终实现一台激光探针仪的多点同时在线检测，使用光纤传输激光和光谱信号，不仅可以提高恶劣环境中激光探针的抗干扰能力，而且还可以大幅降低激光探针仪的应用成本。该实用新型特别适用于包含多条生产线的大型工业过程，具备对生产线上的产品的多种元素同时进行在线监测的能力，可以大幅降低激光探针仪器的应用成本，将有助于激光探针技术的推广和普及。

公开(公告)号：CN201607406U

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN201020119433.6

申请日：2010-02-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 曾晓雁 ,  陆永枫 ,  郭连波 ,  李常茂 ,  蔡志祥 ,  曹宇

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/01

Abstract: 本实用新型属于激光探测技术领域，具体为一种基于双激光光源的激光探针微区成分分析仪。其结构为：固定波长激光器、衰减器、扩束镜、小孔光阑、第一半透半反镜依此位于同一水平光路上，波长可调谐激光器通过第二全反镜反射到第一半透半反镜上后与固定波长激光器的激光束同光路。固定波长激光器和波长可调谐激光器可上下或平行放置，且通过数字延时发生器控制其开启顺序及延时。由光纤探头接收并通过光纤传输到光栅光谱仪后至增强型CCD的等离子体光谱采集时间也由数字延时发生器控制。这种双激光光源激发的激光探针仪探测极限低，元素分析精度高，元素选择性好，更加稳定可靠。可用于各种物质微区的微量、痕量元素的准确定性和精确定量分析。