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公开(公告)号：CN102236249A
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201110104151.8
申请日：2011-04-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/14
Abstract: 一种用于收纳大型防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，其在运送过程中极少产生灰尘，从而能保持所收纳的防尘薄膜组件清洁。一种大型的防尘薄膜组件收纳容器，用来收纳至少有一边的边长大于1000mm的防尘薄膜组件，其特征为：防尘薄膜组件收纳容器的本体为金属制，且于在其周缘载置、固定的盖体所接触的防尘薄膜组件收纳容器的表面，设有保护构件，防尘薄膜组件收纳容器本体与盖体之间介于该保护构件来载置和固定。该保护构件宜由至少2层所构成，与盖体相接触的层(上层)为树脂，而与防尘薄膜组件收纳容器本体相接触的层(下层)为硅粘合剂；更理想的是具有由弹性体所构成的中间层。
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公开(公告)号：CN102201352A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110071334.4
申请日：2011-03-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: H01L21/673 , B65D25/24 , B65D61/00
Abstract: 一种可收纳大型防尘薄膜组件且能安全运送的防尘薄膜组件收纳容器及防尘薄膜组件收纳容器的运送用台车。防尘薄膜组件收纳容器10包括：防尘薄膜组件收纳容器本体11，用以承载防尘薄膜组件；盖体12，通过其外缘嵌合于防尘薄膜组件收纳容器本体11的开口部，可将防尘薄膜组件收纳于盖体12与防尘薄膜组件收纳容器本体11之间；以及6个脚部13，它们被设置在防尘薄膜组件收纳容器本体11的底部。脚部13具有如下构成：其可嵌合于运送防尘薄膜组件收纳容器的运送装置的可转动的载置台。
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公开(公告)号：CN102169847A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110035699.1
申请日：2011-02-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: H01L21/673 , G03F1/14
Abstract: 本发明的目的在于提供一种防尘薄膜组件收纳容器，其即使在将把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件等任意一个所构成的功能性零件安装于收纳容器时，也能保持容器内部洁净。本发明的防尘薄膜组件收纳容器包括：防尘薄膜组件收纳容器本体(20)，用于装载防尘薄膜组件；及盖体，覆盖于防尘薄膜组件，且与防尘薄膜组件收纳容器本体(20)在边缘部相嵌合卡定。该防尘薄膜组件收纳容器特征为：通过螺纹联接机构将由把手、防尘薄膜组件固定部件、补强部件所构成的功能性零件安装于树脂制的容器本体(20)或盖体，且该螺纹联接机构的外螺纹及内螺纹的表面不露出于该容器本体(20)或盖体的内侧。
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公开(公告)号：CN101289000B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200810088457.7
申请日：2008-03-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明的目的在提供一种干净且成本低廉的防护薄膜组件收纳容器，其在真空成形后以适当的加工方法对外周围进行加工，使端面没有毛边等瑕疵。为达到上述目的，先将树脂片材真空成形，再切削除去片材周围的剩余部分，制得防护薄膜组件收纳容器构件，接着，对该剩余部分除去后的表面部分实施有机溶剂涂布等的溶解处理。便能轻易溶解除去切削加工后表面所生的毛边，使表面平滑，而以成本低廉的方式获得端面清洁的防护薄膜组件收纳容器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102141727A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN201110033813.7
申请日：2011-01-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/14
Abstract: 本发明涉及光刻用防尘薄膜组件及其制造方法。本发明提供了一种防尘薄膜组件，其即使在防尘薄膜张力分布不均时也能防止减少曝光区，能有效地防止粘贴到防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜产生皱褶等问题的发生。根据本发明的防尘薄膜组件制造方法，在防尘薄膜组件框架10的一表面上粘贴有防尘薄膜20；防尘薄膜组件框架10具有一对长边11和一对短边12；一对长边11各自呈直线形状；一对短边12各自具备：中央区12a，包括短边的中央部，相对外侧呈凸状的圆弧形状；中间区12b，位于中央区两侧，相对外侧呈凹状的圆弧形状；端部附近区12c，在短边两端部附近，呈直线形。
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公开(公告)号：CN101224457A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810002090.2
申请日：2008-01-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明提供一种外观良好之接合剂层的形成方法，其可在宽度较大的防护薄膜框架上平均涂布适量的接合剂，而不会发生未涂布或溢出的情况。在本发明之对防护薄膜框架端面涂布膜接合剂的方法中，系以一面从吐出口连续滴下膜接合剂一面使吐出口移动的方式进行涂布，此时，将设有吐出口之构件的外径宽度设在防护薄膜框架宽度的60～120％的范围内。即使对于具有宽度较大之膜接合面的防护薄膜框架、长边与短边之膜接合面宽度不同的防护薄膜框架、甚至4角形以外的防护薄膜框架，也能平均稳定的涂布适量的接合剂，而不会发生未涂布或溢出的情况。结果，便能形成外观良好的膜接合剂层。
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公开(公告)号：CN101174083A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：CN200710168014.4
申请日：2007-10-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/00 , G03F7/20 , H01L21/673 , B65D81/18
Abstract: 本发明提供一种防护薄膜组件收纳容器，其具有能承受保管、输送中的外力冲击的足够刚性，而且能抑制盖体掀开时的剧烈外气卷吸，防止异物附着于防护薄膜组件。为达成上述目的，对树脂片材进行成形以作为防护薄膜组件收纳容器的盖体(1)，并在该盖体(1)表面上设置肋部(3)，其与盖体短边所成角度在10°以内，而且与其他肋部不交叉。由于各肋部并未被其他肋部切断，故能大大提高肋部(3)上下方向(纵方向)的刚性，并能防止因为外力所造成的盖体变形以及防护薄膜组件的损伤。
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公开(公告)号：CN101138758A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710149774.0
申请日：2007-09-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明通过确立模具式涂布装置中的非接触型模具前端的初始化的方法，以获得异物比较少的涂布膜。本发明的模具式涂布装置的涂布方法，其特征在于：由使涂布液干燥、硬化而得到的刮刀或块体所构成的刮除装置，与模具前端接触，以进行模具前端的液滴刮除(初始化)。
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公开(公告)号：CN1854891A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200610054952.7
申请日：2006-02-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
CPC classification number: G03F1/64 , Y10T428/24273
Abstract: 本发明提供贴附于光罩后很容易即可剥离的防护胶膜框架、及利用该防护胶膜框架的照相平版印刷用防护胶膜组件。本发明的防护胶膜框架的特征为，框架的长边长度为500mm以上的大型防护胶膜组件时，角部(12)的50mm以内的外侧面至少设有1处凹部(13)。此外，防护胶膜框架(11)的外侧面整体配设5处以上的凹部(13)，凹部(13)为直径1.0mm以上、3.0mm以下、深度0.5mm以上的未贯穿的圆孔。其次，利用此种防护胶膜框架来构成防护胶膜组件。
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