光电感应式腔体观察窗
    71.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101693989B

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN200910042151.2

    申请日:2009-08-25

    Abstract: 本发明提供了一种光电感应式腔体观察窗,安装在用于镀膜用的腔体上,其包括法兰座、传感器装置及玻璃板,法兰座安装于腔体上,法兰座呈中空结构,中空结构形成收容腔,腔体开设有与收容腔相对应的观察通道,玻璃板收容于收容腔内且密封观察通道,其中,还包括密封部件,密封部件包括压环及密封圈,压环抵触于玻璃板与腔体之间且收容于收容腔内,压环开设有与观察通道相对应的观察口,压环的外侧具有与密封圈相匹配的压环槽,密封圈的一端与压环槽抵触,另一端与收容腔的内壁抵触,传感器装置安装于法兰座上且延伸至收容腔正上方,使本发明光电感应式腔体观察窗具有优异密封性能,维护极易并能精准地监控腔体内器件镀膜状况。

    基片自动对位上载装置
    72.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102034725A

    公开(公告)日:2011-04-27

    申请号:CN201010502641.9

    申请日:2010-09-30

    Abstract: 本发明公开了一种基片自动对位上载装置,用于真空环境下上载基片,该基片自动对位上载装置包括真空腔体、夹持机构,及位于所述真空腔体内的夹持输送机构、夹持升降机构、基片输送机构、基片升降机构和基片对位机构,所述夹持机构用于夹持基片,所述夹持输送机构带动夹持机构沿水平方向输入输出真空腔体,所述夹持升降机构驱动夹持机构做升降运动,所述基片输送机构带动基片沿水平方向输入真空腔体,所述基片升降机构驱动基片做升降运动,所述基片对位机构调整基片在水平方向上的位置。该基片自动对位上载装置可保证基片上载的整个过程中腔体内一直维持在稳定的真空状态下,且安全、洁净、对位可靠。

    滚刷升降装置
    73.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102010140A

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN201010502608.6

    申请日:2010-09-30

    Abstract: 本发明公开了一种滚刷升降装置,包括固定座、滚刷、电机、两滚刷升降台以及升降机构、固定座包括对称分布的两升降滑轨固定座,滚刷升降台与升降滑轨固定座一一对应,两升降滑轨固定座之间形成处理区,升降滑轨固定座上沿纵向凸设有升降台滑轨,升降滑轨固定座还开设有与升降台滑轨平行的通槽,滚刷升降台呈滑动的卡于升降台滑轨上,电机固设于两滚刷升降台中的一个上,电机的输出轴与滚刷的一端连接,滚刷的另一端穿过通槽并横跨处理区与另一滚刷升降台枢接,升降机构的输出端与滚刷升降台连接,升降机构推动滚刷升降台沿升降台滑轨做升降运动并带动滚刷升降。升降机构控制滚刷同步升降,使滚刷能对玻璃基片进行连续的清洗工作从而提高工作效率。

    用于平面显示器件的老化与分检装置

    公开(公告)号:CN101153886B

    公开(公告)日:2011-02-02

    申请号:CN200710165435.1

    申请日:2007-10-26

    Abstract: 一种用于平面显示器件,尤其是OLED显示面板的老化与分检装置。该装置由两个进片组件、两个老化系统、一个CCD检测系统、两个标记系统及两个出片组件等组成。其中,进片组件用于暂存上游OLED制造装置生产的OLED显示面板,老化系统用于从进片组件拾取OLED显示面板并对其进行老化处理及预检测监控,CCD检测系统则用于检测从上游老化系统传送过来的OLED显示面板,标记系统则根据CCD检测系统的检测结果对不合格的OLED显示面板进行标记分级处理,出片组件则负责拾取并存放经过了老化、检测和分级的OLED面板。

    真空磁力传动机构
    75.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101958635A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010171137.5

    申请日:2010-05-06

    CPC classification number: H02K49/106

    Abstract: 本发明公开了一种真空磁力传动机构,包括安装板、外轴套、隔套、内轴套、传动轴、若干外磁体及若干内磁体,外轴套开设有供容置隔套的圆槽,圆槽内设有轴孔,圆槽的壁上设有若干均布的外容置槽,外磁体极性一致地容置于外容置槽内,隔套具有供容置内轴套的中空结构,隔套的一端凸伸形成与轴孔枢接的凸轴,另一端的向外凸伸形成与安装板固接的底座,隔套与圆槽的内壁之间、底座与外轴套之间均具有间隙,内轴套上对应开有内容置槽,内磁体极性一致地容置于内容置槽内,内磁体与外磁体分布于同一平面,传动轴一端与内轴套固接,另一端枢接地穿过安装板上的通孔。本发明的真空磁力传动机构传动平稳且高效,容易控制,成本低,实用性与通用性强。

    真空动密封精确传动装置
    76.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101958634A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010171132.2

    申请日:2010-05-06

    CPC classification number: F16J9/14

    Abstract: 本发明公开了一种真空动密封精确传动装置,所述真空动密封精确传动装置还包括测速组件,该测速组件包括光电传感器、感应片及传感器固定座,光电传感器固定在传感器固定座上,光电传感器的一侧的两端水平凸伸形成两检测臂,感应片同轴固定在向真空腔体内传输动力的齿轮轴上并位于两检测臂之间,结构紧凑,感应片上开设有通槽,光电传感器从一检测臂的一端发送光信号至另一检测臂,当通槽随感应片转动到与两检测臂位于同一平面时,光信号能有效被另一检测臂所接收。本发明的真空动密封精确传动装置通过光电传感器与感应片的配合可记录电机启动的起始位置,并可同步检测电机传给齿轮轴的实际转速,能在保证真空洁净度的同时实现精确、平稳的传动。

    吊锤装置
    77.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101957199A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010171173.1

    申请日:2010-05-06

    Abstract: 本发明公开了一种吊锤装置,用于调节设备的垂直度以确定设备的中心线在地面的投影线。其中,所述吊锤装置包括均呈中心对称结构的锥体、锥台以及吊线固定座,锥体呈圆锥状,锥台由锥体呈平面的一端的中心处向外延伸而成,锥台具有一安装面,安装面与锥体和锥台的中心轴线垂直,吊线固定座安装在安装面上。与现有技术相比,所述吊锤装置的锥台的安装面垂直于锥体和锥台的中心轴线,吊线固定座安装在锥台的安装面上,当吊线固定于吊线固定座上时,可以保证吊线与所述锥体的中心轴线在同一直线上,从而保证了使用吊锤装置时调节设备垂直度的精度,进而保证了工程质量以及提高了多台设备的中心线的对位精度。

    密封腔体阀板驱动机构
    78.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101956861A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010171163.8

    申请日:2010-05-06

    CPC classification number: F16K51/02 F16K3/188

    Abstract: 本发明公开了一种密封腔体阀板驱动机构,包括移动导向装置、安装板、第一驱动装置、连接装置及第二驱动装置。移动导向装置位于密封腔体的传递窗口的下方且与密封腔体的外侧壁固定连接,安装板与移动导向装置呈纵向地滑动连接,第一驱动装置与安装板固定连接,连接装置分别与阀板和第二驱动装置连接,第二驱动装置分别与连接装置和安装板连接。由于本发明密封腔体阀板驱动机构的第一驱动装置通过安装板驱动阀板作纵向的直线往复运动,第二驱动装置驱动阀板作横向的直线往复运动,从而实现了阀板打开或关闭传递窗口的过程,结构简单、紧凑,动作灵活轻便,零部件加工、操作及维护等比较简单,易于实施,且设备配置成本较低。

    基片装卸装置
    79.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101955066A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010187910.7

    申请日:2010-05-25

    Abstract: 本发明公开了一种基片装卸装置,包括支撑架、传动机构、滑动机构及升降支架:支撑架的下表面设有滚轮;升降支架包括与支撑架呈平行对应设置的升降部及由升降部的上端相对支撑架向后垂直弯折形成的承载部,升降部上与支撑架相对的一侧垂直设有齿条,承载部的上表面的前后两侧分别设有第一支撑块和第二支撑块从而形成用于承载基片的承载区;传动机构包括第一传动组件、第二传动组件、设于支撑架上的固定座及穿过固定座并固定连接第一传动组件和第二传动组件的传动轴,第一传动组件包括手柄、蜗杆及与蜗杆啮合的蜗轮,第二传动组件包括齿条及与齿条啮合的齿轮;滑动机构包括设于支撑架上的导轨及设于升降支架上并与导轨滑动卡接的滑块。

    平板清洗设备自动启闭门
    80.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101954366A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010187880.X

    申请日:2010-05-25

    Abstract: 本发明公开了平板清洗设备自动启闭门,包括启闭机构、与启闭机构连接的传动机构以及控制传动机构动作的驱动机构。其中,启闭机构包括层叠的第一固定板、挡板及第二固定板,第一固定板及第二固定板正对开有长形开口,该长形开口形成平板通道,挡板滑动夹持于第一固定板与第二固定板之间并可作直线往复运动;传动机构包括传动轴以及与传动轴连接的传动组件,传动组件与挡板连接;驱动机构包括马达、受控于马达的汽缸以及与汽缸连接的伸缩杆,伸缩杆与传动轴连接;马达驱动传动组件,传动组件带动挡板做直线往复运动实现对长形开口的打开或关闭。本发明结构简单、成本低廉,适用于工业的生产和推广。

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