无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱

    公开(公告)号:CN205835428U

    公开(公告)日:2016-12-28

    申请号:CN201620249503.7

    申请日:2016-03-29

    Inventor: 张德龙

    Abstract: 本实用新型公开了一种无尘室循环过滤装置,其包括:过滤单元,其设置于无尘室内,该过滤单元与无尘室的顶部之间形成第一腔室;板体,其上开设有多个通孔,该板体设置于无尘室内并位于过滤单元的下方,该板体与过滤单元之间形成第二腔室,该板体与无尘室的底部之间形成第三腔室;回风通道,其两端分别连通第一腔室和第三腔室。本实用新型同时还公开了一种无尘室和手套箱。本实用新型与现有技术相比,在简化结构和降低成本的前提下,同样形成了高洁净度的无尘环境,使得洁净度同样可以达到ISO1级。

    一种半导体用微工厂设备
    72.
    实用新型

    公开(公告)号:CN216749822U

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202123381140.2

    申请日:2021-12-29

    Abstract: 本实用新型涉及了一种半导体用微工厂设备,包括:常压加工设备;常压设备箱体,所述常压加工设备设于所述常压设备箱体中;所述常压设备箱体包括内保护层机构、外保护层机构,所述内保护层机构、所述外保护层机构两者均为设有金属层的绝热保护层结构、且两者之间围设构成气流缓冲层;温度补偿单元,与所述常压加工设备所在的加工区域连接,用于补偿所述加工区域内设备功率变化引起的温度波动;灰尘过滤单元,设于所述常压设备箱体中。通过上述设置,可解决目前半导体工厂中无尘恒温厂房建设投资巨大的问题。

    一种密封箱
    73.
    实用新型

    公开(公告)号:CN211906981U

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN202020216426.1

    申请日:2020-02-26

    Inventor: 李春风 戴梦德

    Abstract: 本实用新型公开了一种密封箱,本实用新型创造性的提出双层密封箱体的结构,使得气密性得到进一步加强,可以满足更严苛的防泄漏的应用场景,并且,第二密封腔体的气压大于第一密封腔体的气压,更加保证第一密封腔体中的有害物质不能向外泄漏,进一步提高了安全性。另外,由于第二密封腔体的容积很小,因此需要的气压控制装置的功率较小,进而,由于P2和P1之间的差值小于P1和密封箱外部气压之间的差值,因此,第一密封腔体的气压控制装置的功率也可以选择小于现有技术中密封箱需要的气压控制装置的功率,特别是大型密封箱,气压控制装置的功率可以有较大的降低,从而节约成本和降低运行能耗。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    密封箱门组件及密封箱
    74.
    实用新型

    公开(公告)号:CN211906977U

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN201922489673.9

    申请日:2019-12-31

    Inventor: 李春风 戴梦德

    Abstract: 本实用新型公开了一种密封箱门组件及密封箱,用于开启或密封密封箱,包括用于与密封箱门密封对接的第一重门,和设置于第一重门外侧的第二重门;在关闭密封密封箱门时,第一重门与密封箱密封对接,所述第二重门以自身部分或全部重力对第一重门施加侧向压力,将第一重门推向密封箱。本实用新型通过双重门结构,并利用第二重门的重力对第一重门进行施压,确保密封箱操作空间中的纯净度,有效隔断由于缝隙或是细微扩散存在而可能出现的外部物质泄漏侵入,气体纯度得到有效控制。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种实验溶剂纯化汲取系统

    公开(公告)号:CN209530900U

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201822195834.9

    申请日:2018-12-25

    Inventor: 李春风

    Abstract: 本实用新型涉及了一种实验溶剂纯化汲取系统,其包括:用来盛放实验溶剂的溶剂源、换向阀、取液瓶、真空发生装置、惰性气体源。其中,换向阀为四位四通阀,其三个进口分别与溶剂源、真空发生装置以及惰性气体源一一对应相接,其出口与取液瓶相接。借用惰性气体对取液瓶中的空气进行置换,直至该取液瓶中的氧气、水分等符合标准要求,而后才充入实验溶剂,从而减少了汲取过程中水分、氧气等混入实验溶剂,实现了实验溶剂的纯化汲取过程。需要说明一点,该技术方案的适用前提是存放于溶剂源的实验溶剂是经过纯化的(即水分、氧气等符合标准)。另外,本实用新型还公开了与一种上述实验溶剂纯化汲取系统相适配实施方法。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种密封箱开启件的密封结构及密封箱

    公开(公告)号:CN207876371U

    公开(公告)日:2018-09-18

    申请号:CN201721920317.2

    申请日:2017-12-30

    Inventor: 李春风

    Abstract: 本实用新型提供一种密封箱开启件的密封结构,用于密封箱的开启件与箱体之间的密封连接,开启件与箱体之间设有第一密封组件及第二密封组件,第一密封组件与第二密封组件之间形成一密封小室,所述第一密封组件设置在开启件与箱体的边缘连接处,第一密封组件形成初级密封;第二密封组件与瓣膜形成高性能等级密封,瓣膜式密封吻合度高,密封性好;密封小室作为缓冲区进一步降低泄露速率,大大提高了密封性能,提升了密封等级。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种净化柱及惰性气体设备

    公开(公告)号:CN207562622U

    公开(公告)日:2018-07-03

    申请号:CN201721674250.9

    申请日:2017-12-05

    Abstract: 本实用新型提供一种净化柱,包括一壳体,在所述壳体内包括至少一个净化单元,净化单元可装填不同类型净化材料,或者包括多个填充有净化材料的净化子单元,实现多种吸附功能,相当于多柱可串可并,灵活多变以满足现在使用者多样式复杂工艺需求,甚至使用者可以自行根据需求自由选择,安全性经济性更好。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    有机光伏器件薄膜封装设备

    公开(公告)号:CN205810867U

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201620249487.1

    申请日:2016-03-29

    Inventor: 李春风

    CPC classification number: Y02E10/549

    Abstract: 本实用新型公开了一种有机光伏器件薄膜封装设备,其包括:机架,其上设置有样品台;压盖,其可移动地安装于机架上,该压盖在封装时移动至样品台并压合在样品台上形式腔体;膜层形成单元,其安装于压盖内,且位于样品台的上方,该膜层形成单元在器件上形成保护膜。同时本实用新型还公开了多种有机光伏器件薄膜封装方法。本实用新型可以替代传统的在光伏器件上加装玻璃盖板的作法,从而可以适应目前光伏器件轻薄化的发展。同时,本实用新型的有机光伏器件薄膜封装设备亦可实现传统的加装玻璃盖板的封装技术,由此使得本实用新型的使用功能更为多用。

    一种手套箱互联多通仓
    79.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205497537U

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201620239537.8

    申请日:2016-03-25

    Inventor: 张德龙 戴梦德

    Abstract: 本实用新型公布了一种可实现三个以上手套箱互联互通的手套箱互联多通仓。其解决的技术问题是目前只有可以将两个手套箱对接传递物品的T型仓,而没有将三个以上手套箱相连接的装置。本手套箱互联多通仓,包括设有三个以上连接口的过渡仓、设于过渡仓内壁上的导轨及可在导轨上移动的托盘。本手套箱互联多通仓可实现三个以上手套箱之间物品的传递,也可实现每个手套箱与外部的传递,且体积小巧、结构简单、成本较低。

    具有紫外臭氧清洗功能的手套箱

    公开(公告)号:CN204382304U

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201520024870.2

    申请日:2015-01-14

    Inventor: 李春风

    Abstract: 本实用新型公开了一种具有紫外臭氧清洗功能的手套箱,包括手套箱箱体和过渡仓,该过渡仓的内壁上固定设置有至少一紫外清洗灯,该过渡仓上还设置有连通该过渡仓内部的至少一开口或管路,该开口或管路连接工作气气源,用于向过渡仓内输入清洗所需的工作气,该过渡仓还连接真空泵,该真空泵将该过渡仓进行抽真空处理。本实用新型与现有技术相比,其有效地利用了过渡仓的现有空间,并且不需要手伸入箱体内进行清洗作业,在节省手套箱箱体空间的同时还提高了清洗操作的便利性,同时在密闭的过渡仓内完成清洗后直接进入到手套箱箱体内,避免了与外界的接触,也可以有效地避免样品的二次污染或氧化问题。

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