公开(公告)号：CN102126075A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN201010550012.3

申请日：2010-11-18

Applicant: 上海沪工电焊机(集团)有限公司

Inventor： 周成豪 ,  舒俊

IPC: B23K10/00 ,  H05H1/36

Abstract: 本发明是一种由单管IGBT控制的前导弧电路，属于一种控制电路，具体应用于非高频等离子切割机在起弧时的控制。前导弧电路一般需要完成两个功能，一是喷嘴与电源正端的通断控制；二是限制喷嘴与电极针短路瞬间的大电流，传统的前导弧电路一般采用继电器和限流电阻来实现上述功能。本发明的目的是要克服现有前导弧电路存在的不足，用一只单管IGBT代替继电器和限流电阻来实现前导弧电路需要完成的两个功能，具有前导弧持续性好、性能稳定可靠、成本低、体积小等特点。

公开(公告)号：CN102067738A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980124394.9

申请日：2009-06-17

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 安德烈斯·乐铭 ,  安德拉斯·库蒂 ,  托马斯·安德松

IPC: H05H1/36 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC classification number: H03B21/00

Abstract: 披露一种复合波形频率匹配装置。在各实施方式中，该匹配装置包含彼此并联耦合的多个射频发生器。该多个射频发生器的每个随后的射频发生器都被配置为产生谐波频率，该谐波频率与任何产生更低频率的射频发生器所产生的频率以整数倍的形式相关，从而产生复合波形。多个分频器电路耦合于该多个射频发生器的输出，而多个匹配网络中的每一个都具有耦合于该多个分频器电路之一的输出的输入以及被配置为耦合于等离子体室的输出。

公开(公告)号：CN101155460B

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200710145785.1

申请日：2007-09-05

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： 朴范秀 ,  崔寿永 ,  约翰·M·怀特 ,  金宏顺 ,  霍夫曼·詹姆斯

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/36 ,  H01J37/00

CPC classification number: H01J37/32174 ,  H01J37/32935 ,  H03H7/40

Abstract: 本发明公开了一种检测等离子体工艺异常的频率监控装置和方法，其通过检测变频RF电源的频率是否超出所建立的上限和下限而检测RF驱动的等离子体工艺腔室内的异常情况。在第一方面，在新的工艺步骤开始之后或者在采样控制信号改变状态之后，建立第一对上限和下限为采样的电源频率的函数。在第二方面，第二对上限和下限不与所述电源的频率相适应。优选地，将两方面一起使用，以检测异常情况的不同出现。

公开(公告)号：CN102057759A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200980120990.X

申请日：2009-05-07

Applicant: 先进能源工业公司

Inventor： T·卡尔利切克 ,  G·J·范齐尔 ,  L·桑福德

IPC: H05H1/36 ,  H05H1/46 ,  H05H1/24

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32183 ,  H03H7/40

Abstract: 本发明描述一种能够使等离子体负载的阻抗与功率发生器匹配的装置、系统和方法。在一些实施例中，所述装置包括功率输出端，适于施加用于激励等离子体的功率；传感器，适于对在所述功率输出端处施加的功率进行采样以获得功率样本；以及阻抗控制输出端，被配置成对所述功率样本做出响应而提供阻抗控制信号，所述阻抗控制信号使得连接到所述功率发生器的输出端并且连接到所述阻抗控制输出端的阻抗匹配网络，能够对所述阻抗控制信号做出响应而将所述等离子体的阻抗匹配到所述功率发生器的操作阻抗。

公开(公告)号：CN101687272A

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：CN200980000347.3

申请日：2009-02-13

Applicant: 海别得公司

Inventor： D·M·博罗维 ,  J·A·罗伯茨

IPC: B23K9/32 ,  B23K9/095 ,  B23K15/00 ,  B23K15/02 ,  H05H1/36

CPC classification number: B23K9/323 ,  B23K9/0953 ,  B23K15/0026 ,  B23K15/02 ,  H05H1/36 ,  H05H2001/3473

Abstract: 一种用于标识与热处理系统关联的割炬组合件的系统和方法包括：检测器(10)，该检测器基于与所述热处理系统的多个断路或闭路来检测多位二进制信号。每个代表性二进制信号可包括各物理部件(21)。该系统也可包括与检测器通信的控制机构(20)，该控制机构基于多位二进制信号标识割炬组合件的至少一个特征。

公开(公告)号：CN101536615A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200780041062.5

申请日：2007-10-23

Applicant: MKS仪器有限公司

Inventor： 萨尔瓦托雷·波利佐

IPC: H05H1/36

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32174 ,  H03F1/301 ,  H03F3/2171 ,  H03F3/265

Abstract: 一种向等离子体室施加RF功率的射频(RF)发生器包括：DC电源(B+)。射频开关在中心频率f0产生所述RF功率。低通耗散终接网络连接在所述DC电源(B+)与所述开关之间，并包括在第一截止频率工作。所述开关向改进系统保真度的输出网络输出信号。所述输出网络产生馈给高通分谐波负载隔离滤波器的输出信号，所述滤波器传输预定频率以上的RF功率。低通谐波负载隔离滤波器可被插在所述输出网络与所述高通分谐波负载隔离滤波器之间，高通终接网络可以连接至所述输出网络的输出端。所述高通终接网络耗散在预定频率以上的RF功率。离线短路器或分流网络可连接在所述开关的输出端与所述输出网络的输入端之间，以用于在预定的频率将所述开关的输出端短路。

公开(公告)号：CN100375584C

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200410078061.6

申请日：2004-09-20

Applicant: 阿尔卡特公司

Inventor： 丹尼尔·克洛 ,  让·帕斯卡尔·迪蒙·莫内 ,  皮埃尔·里波什

IPC: H05H1/32 ,  H05H1/30 ,  H05H1/36

CPC classification number: C03B37/01291 ,  H05H1/30 ,  H05H1/36 ,  H05H2001/3426 ,  H05H2001/3473

Abstract: 本发明涉及一种感应式热等离子体焊炬，它包括：一密封管，其包括相对于所述管成纵向的彼此绝缘的金属指状件；包括触发器(4)和触发器支撑件(1，3)的触发装置，触发器用来在焊炬的等离子体中引发放电，支撑件具有与一电接地部分(2)连接的导电端部(1)和另一个承载着触发器的电绝缘端部(3)，触发装置还包括一使触发器与支撑件的导电端部连接的导电连接部分(5)，从而该触发器能够在等离子体中引发放电，导电连接部分具有一足够狭窄的部分，以限制能够经过触发器的电流的强度，避免由触发装置和焊炬的另一个部分之间的电容放电而产生的起弧。

公开(公告)号：CN1131661C

公开(公告)日：2003-12-17

申请号：CN98105716.0

申请日：1998-03-17

Applicant: 林肯电气公司

Inventor： 约瑟福·阿伦·达尼尔

IPC: H05H1/36 ,  H02M3/10

CPC classification number: B23K10/006

Abstract: 一个用于从带有电流调节输入端的电源向等离子系统提供直流电的电路，该等离子系统包括一个电极和一个喷嘴，该喷嘴带有一个等离子电弧开口使电极朝向一个并置的工件，该电路具有一个第一电路支路；一个第二电路支路；一个第二电路支路中的电流检测器装置；开关装置；用于在第一电路支路中调节电流直至电弧发生转变的装置，以及用于当被检测工件电流超出一个低阈值时，提高由上述电源向第一电路支路提供的维持电流的装置。

公开(公告)号：CN1057938A

公开(公告)日：1992-01-15

申请号：CN91103960.0

申请日：1991-05-15

Applicant: 悉尼大学 ,  新南威尔士州电力委员会

Inventor： 彼得·菲尔布姆

IPC: H05H1/36 ,  H05B7/148 ,  G05F1/02

CPC classification number: H05H1/36

Abstract: 一种用于直流电弧点火枪(6)的直流电源(1)包括：一个输入端口(4，8)用于与直流源相连接，一个输出端口，用于与电弧点火枪的电极(5，7)相连接；串联于输入与输出端口之间的一个控制开关(2)及一个电感(3)；一个续流二极管(9)，以保证直流电流流经电弧及电感(3)；及一个反馈电路(10)，它具有一个检测流经电弧的电流瞬时值的电流传感器(11)，及一个与开关(2)相连接的控制端(26)，当瞬时电流值达到第一电平值时在控制端(26)上输出一控制信号以使开关(2)导通，当瞬时电流值达到第二电平值时，在控制端(26)上输出一控制信号以使开关(2)关断。

公开(公告)号：CN87105372A

公开(公告)日：1988-06-22

申请号：CN87105372

申请日：1987-08-04

Applicant: 休斯航空公司

Inventor： 约翰R·贝蒂 ,  唐纳德J·汉考克

IPC: F03H1/00 ,  H01J27/08 ,  H05H1/36 ,  B64G1/40 ,  B64G1/24

CPC classification number: H01J27/022 ,  F03H1/0012 ,  F03H1/0037

Abstract: 在一种用来产生推力的离子推进发动机中，用于平衡来自空心阴极阵列的各个发射电流的发射电流控制系统，具有可用于探测由各阴极从电源支取的电流和使发射电流均衡的控制装置。当本发明的发射电流控制系统用作多重空心阴极离子推进发动机的部件时，它使围绕推力轴的发动机推力均衡，由此避免由于工作在超过最大额定发射以上而引起的空心阴极源的过早失效。