并行光刻直写系统
    61.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101846890A

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN201010170978.4

    申请日:2010-05-13

    Abstract: 本发明公开了一种并行光刻直写系统,包括光源、图形发生系统、光学系统、控制系统、运动系统和工件平台,其特征在于:还设有聚焦伺服系统,所述聚焦伺服系统包括检测光路、传感器和调焦装置,所述光学系统由微缩系统和检测光路构成,其中的微缩系统采用双远心光学系统,检测光路包括检测光源、在双远心光学系统内的第一分光器件、在检测光源和第一分光器件间的第二分光器件,检测光经第一分光器件进入双远心光学系统并照射在工件平台处的工件上,反射光经第一分光器件和第二分光器件被传感器接收,控制系统根据传感器的信号控制调焦装置动作,实现伺服聚焦。本发明通过结合聚焦成像伺服系统,可以实现亚微米尺度微结构的精确光刻。

    用于紫外激光干涉光刻直写系统的光学镜头

    公开(公告)号:CN101510053A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200910028297.1

    申请日:2009-02-06

    Abstract: 本发明公开了一种用于紫外激光干涉光刻直写系统的光学镜头,其特征在于:由物方透镜组A和像方透镜组B两组透镜组成,A组透镜由A3、A2、A1三片透镜组成,B组透镜由B1、B2、B3、B4四片透镜组成;光线传播方向依次为A3、A2、A1、B1、B2、B3、B4;其中,A1、B1为弯月型凹透镜,A2、B2为双凸透镜,A3、B3、B4为弯月型凸透镜。本发明的像方透镜采用四片结构设计,因而其数值孔径大,干涉条纹的结构精细;限定物方数值孔径,可以减少透镜数量,降低实际加工的累积工艺误差,并且便于与干涉镜头物方的衍射光栅配合;可以在激光干涉直写系统上实现亚波长结构的制作。

    多视角图形输入的三维图形直写方法

    公开(公告)号:CN101477326A

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200910028296.7

    申请日:2009-02-06

    Abstract: 本发明公开了一种多视角图形输入的三维图形直写方法,包括下列步骤:(1)获得三维物体的分视角平面数字图像;(2)对每幅图像进行分色并分割成子图,在各图像中对应位置相同的子图为一组;(3)取一组子图,分别采用迭代傅里叶变换原理,计算每一子图在远场的光场分布,提取位相信息,按视角排列,编码成H1;(4)用空间光调制器显示H1,并放置于透镜的前焦面,在透镜后焦面上形成多视角图像再现,引入干涉光,通过干涉光路在记录材料上记录再现图像;(5)对应下一组子图的位置,移动记录材料的位置;(6)重复上述步骤至所有子图记录完毕,实现三维图形的记录。本发明用激光直写的方式制作三维图形,图形具有丰富的信息表达特征。

    用于获取指纹图像的装置
    64.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110795968A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201810869947.4

    申请日:2018-08-02

    Abstract: 本发明涉及生物特征识别技术,特别涉及用于获取指纹图像的装置。按照本发明一个方面的用于获取指纹图像的装置包含:第一光波导;设置于所述第一光波导下方的光源单元,其配置为提供以一定角度入射到所述第一光波导的平行光束,所述角度设定为当所述第一光波导的上表面未有物体覆盖时,使得所述平行光束在所述第一光波导内不满足全反射条件;设置于所述第一光波导表面的第一光耦合输出单元,其配置为当所述第一光波导的上表面有物体覆盖时,将所述第一光波导内发生全反射的光束引导到所述第一光波导外部并进行成像;以及设置于所述第一光耦合输出单元的成像位置处的图像接收单元。

    三维显示装置
    66.
    发明公开
    三维显示装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN110531528A

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201810560635.5

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 本发明涉及显示技术,特别涉及用于实现裸眼三维图像的多视角显示的装置。按照本发明一个方面的三维显示装置,其特征在于,包含:光源模组,其配置为发出第一光束;位于所述第一光束传播方向上的空间光调制器,其配置为通过振幅调制方式将多视角混合图像信息加载到所述第一光束上以形成第二光束;以及位于所述第二光束传播方向上的位相板,其具有衍射结构,所述衍射结构配置为将所述第二光束所承载图像中的不同视角的图像投射至各自对应的多个观察位置。

    用于实现三维图像近眼显示的装置

    公开(公告)号:CN110531525A

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201810513869.4

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 本发明涉及显示技术,特别涉及用于实现三维图像近眼显示的装置。按照本发明一个方面的用于实现三维图像近眼显示的装置包含:光场再现单元,其配置为重构目标物体的光场信息以再现虚拟景象,所述光场再现单元包括:空间光调制器;以及在所述空间光调制器的出光方向上设置的位相板,其具有衍射结构,所述衍射结构配置为将所述虚拟景象中的不同视角的图像投射至各自对应的观察位置;以及虚实融合单元,其被配置为输出将所述虚拟景象与真实景象融合在一起的三维图像。

    一种双带可见光宽波段吸收结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN106646696B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201710152624.9

    申请日:2017-03-15

    Abstract: 本发明提供了一种双带可见光宽波段吸收结构,包括:基底;金属层,其设置于基底上;金属光栅层,其设置于金属层上,金属光栅层为一维光栅,金属光栅层包括多个光栅单元,每两个相邻的光栅单元之间形成光栅凹槽,金属光栅层的周期不大于500nm、占空比在0.1‑0.7之间、高度在100‑500nm之间;金属光栅层中,其介电常数的虚部大于其介电常数的实部的绝对值;填充介质层,其填设于光栅凹槽内。本发明还提供了一种双带可见光宽波段吸收结构的制备方法。本发明与现有技术相比,其结构简单,在宽入射角度变化范围(0°‑60°)吸收效率高(最高近100%),且TM偏振光和TE偏振光皆可实现双带宽吸收。

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