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公开(公告)号：CN102253448B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201110219194.0
申请日：2011-08-02
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种阵列波导光栅实现均匀偏振补偿的方法。该光程差由阵列波导区和平板波导区的光程差共同决定，采用对阵列波导区中的两种偏振态使用不同的衍射级次并结合平板波导区的几何双折射性质来补偿阵列波导区的几何双折射性质。平板波导区与阵列波导区的几何形状由所选波导材料、波导结构和对各通道波长的偏振色散要求共同决定。本发明实现了对阵列波导光栅各输出通道波长的均匀偏振色散补偿，解决偏振色散补偿方法不能实现的均匀偏振色散补偿和造成的器件性能变差，结构复杂等问题，该方法适用于具有双折射的各种波导材料和各种波导结构的阵列波导光栅，特别适用于具有较大几何双折射的硅纳米线阵列波导光栅，具有制作简单、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN102638003A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210131782.3
申请日：2012-05-02
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种分布反馈激光器阵列。它由制作在同一块半导体外延片上的多个平行排列的分布反馈激光器组成。半导体外延片至少包括上包层、有源层、间隔层、折射率控制层、下包层和衬底。有源层或者折射率控制层内含有形成分布反馈的布拉格光栅。折射率控制层之上各层形成分布反馈激光器的上台面。折射率控制层形成分布反馈激光器的导波结构，阵列中每个分布反馈激光器导波结构宽度不同。该分布反馈激光器阵列中的任一个分布反馈激光器由上电极、上台面、导波结构、衬底和下电极组成。不同宽度的导波结构实现每个分布反馈激光器在拥有相同周期的布拉格光栅的同时使激射波长有一定的偏移。该阵列可用作多波长激光器和可调谐激光器。
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公开(公告)号：CN101859001B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201010195943.6
申请日：2010-06-08
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于硼锗共掺上包层的二氧化硅光波导器件及制备方法。在基底上沉积二氧化硅下包层，在下包层上表面沉积掺杂锗的二氧化硅薄膜后，通过光刻、刻蚀工艺形成截面为方形的波导芯层；在二氧化硅下包层与波导芯层上面沉积一层掺有硼和锗两种元素的二氧化硅上包层，上包层和芯层波导结构之间不存在空隙。在硼锗共掺的二氧化硅上包层沉积后进行高温热退火工艺，低熔点的上包层薄膜会回流进入相邻波导芯层中的间隙，这样就能在后续沉积膜层中减少遮蔽效应的作用，实现波导间空隙的完全填充，降低器件损耗。本发明的基于硼锗共掺上包层的二氧化硅波导器件结构，可广泛应用于分路器、耦合器和阵列波导光栅等高纵横比波导结构的器件。
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公开(公告)号：CN101976799B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201010295361.5
申请日：2010-09-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种空气槽分束法布里-珀罗谐振腔耦合激光器。法布里-珀罗谐振腔是由与有源波导倾斜、可填充介质的空气槽，两个波导和两个高反镜组成；一个波导与有源波导同轴分别位于空气槽的两侧；两个波导与空气槽之间夹角相等，位于空气槽同侧，并与空气槽连接端口处部分重合；高反镜分别设置于两个波导的非空气槽连接端口。或者再在两个波导上覆盖调谐电极和在有源波导覆盖相位匹配电极。本发明通过空气槽对光的反射和透射进行分束。附加两根波导构成法布里-珀罗谐振腔进行选模，具有自由光谱范围大且制造难度低。通过调节波导的光学长度，可对激光器输出波长大范围调谐。这种激光器可单纵模运转。
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公开(公告)号：CN101697341B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200910153253.1
申请日：2009-10-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种量子阱混合方法。利用氮等离子体作为等离子源局部处理包含量子阱结构的化合物半导体晶片的牺牲层表面，在牺牲层表面产生晶格缺陷，接着通过快速退火使部分晶格缺陷扩散到量子阱区域，导致量子阱和垒的成分在界面处混合，从而改变量子阱区域的能带结构。本发明克服了氩等离子体诱导的量子阱混合技术中，刻蚀作用的负面影响，不会使得量子阱片的表层被轰击变薄甚至刻穿，为工艺带来便利。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102253448A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110219194.0
申请日：2011-08-02
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种阵列波导光栅实现均匀偏振补偿的方法。该光程差由阵列波导区和平板波导区的光程差共同决定，采用对阵列波导区中的两种偏振态使用不同的衍射级次并结合平板波导区的几何双折射性质来补偿阵列波导区的几何双折射性质。平板波导区与阵列波导区的几何形状由所选波导材料、波导结构和对各通道波长的偏振色散要求共同决定。本发明实现了对阵列波导光栅各输出通道波长的均匀偏振色散补偿，解决偏振色散补偿方法不能实现的均匀偏振色散补偿和造成的器件性能变差，结构复杂等问题，该方法适用于具有双折射的各种波导材料和各种波导结构的阵列波导光栅，特别适用于具有较大几何双折射的硅纳米线阵列波导光栅，具有制作简单、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN101900575A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010206558.7
申请日：2010-06-22
Applicant: 浙江大学
IPC: G01D5/26
Abstract: 本发明公开了一种基于有源谐振腔和与之级联的无源谐振腔的光传感器。至少包括一个带有内部增益的可发射等间隔梳状自发辐射谱或激光谱的有源谐振腔和一个具有等间隔梳状滤波谱的无源谐振腔，以及一个光接收器。所述有源谐振腔发射的光谱输入到无源谐振腔，经过无源谐振腔的滤波之后，出射光被光接收器所接收。所述无源谐振腔中设有一段光学长度能随外界环境改变而改变的传感区。本发明使用成本低廉的多模有源谐振腔作为输入光源。当两个腔光学长度相同时，只需要简单地用光功率探测器测量输出光强度的变化就能得到被测物理量的变化，测试简便，成本低；当两个腔光学长度不同时，通过外接光谱仪还能够扩展测量范围，提高测试精度。
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公开(公告)号：CN101893562A
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN201010206564.2
申请日：2010-06-22
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种基于数字式微滴进样通道的高灵敏度集成光波导传感器件。包括数字式微滴进样通道，输入、输出光波导，与输入、输出光波导相耦合的集成平面光波导传感器，将输出光波导中光信号转换成电信号的光电探测器以及与光电探测器相连的锁相放大器；与输入、输出光波导相耦合的集成平面光波导传感器放置在数字式微滴进样通道中缓冲液与待测物质混合形成微滴后的下面。本发明将待测物质按设定频率f流经集成光波导传感器传感区域，对传感器输出光波导输出信号进行频率为f的调制，使输出信号变为交流信号，并通过锁相放大器将频率为f的有效信号提取出来，最大限度地滤除由激光器和光电探测器引入的以白噪声为主的噪声，提高传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN101825480A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN201010104762.8
申请日：2010-01-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器。它包含宽带光源、输入波导、与输入波导相耦合的传感环形谐振腔、与传感环形谐振腔相耦合的连接波导，与连接波导相耦合的参照环形谐振腔，与参照谐振腔相耦合的输出波导、两个光功率计。传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度相同，传感环形谐振腔的所有谐振频率与参照环形谐振腔的所有谐振频率一一对应重合。传感环形谐振腔中至少有一部分波导受到被测变量影响作用或至少有一部分波导包层与被测物质接触。被测变量影响作用或被测物质变化引起谐振谱的移动，通过等长双谐振腔的级联滤波效应可将此移动转换为透射总输出功率的变化，从而简单有效地检测被测量。
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公开(公告)号：CN101696933A
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200910153230.0
申请日：2009-10-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种基于谐振干涉复合结构和游标效应的光波导传感器。它包含输入波导、四个分支波导、输出波导、将光从输入波导等分到分支波导的分光器、将光从分支波导合到输出波导的合光器、两侧分别与两个分支波导耦合的传感谐振腔、两侧分别与两个分支波导耦合的参照谐振腔，传感谐振腔与参照谐振腔光学长度不同，传感谐振腔的一个谐振频率与参照谐振腔的一个谐振频率重合时其相邻的谐振峰不完全重合。传感谐振腔中至少有一部分波导的上包层与被测物质接触，被测物质的变化会引起模式有效折射率变化，从而引起谐振谱的移动。通过双谐振腔的游标效应可将此移动放大，并将其转换为相邻两个谐振峰的功率比变化，从而更有效地检测包层被测物质的变化。
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