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公开(公告)号：CN105393031B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201480031742.9
申请日：2014-05-12
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0083 , F16K7/17 , G01N27/20 , Y10T137/5994
Abstract: 本发明提供一种隔膜阀，其结构简单，并且能够在隔膜断裂之前切实地检测出隔膜的损伤。隔膜(5)由多层隔膜层(21)(22)(23)形成。在最上层的隔膜层(23)上施加有配线(24)。通过检测配线(24)的切断来检测出隔膜(5)的异常。
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公开(公告)号：CN104081304B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201280068410.9
申请日：2012-10-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/2544
Abstract: 一种半导体制造装置的气体分流供给装置，具备：操纵阀(3)，其形成压力式流量控制部(1a)；气体供给主管(8)，其连通于操纵阀(3)的下游侧；节流孔(6)，其设于操纵阀(3)下游侧的气体供给主管(8)；多个分支管路(9a、9n)，其并列状地连接于气体供给主管(8)的下游侧；分支管路开闭阀(10a、10n)，其间置于各分支管路(9a、9n)；压力传感器(5)；分流气体出口(11a、11n)，其设于各分支管路(9a、9n)的出口侧；以及运算控制部(7)，其中，对阀驱动部(3a)输出使所述操纵阀(3)朝运算流量值与设定流量值之差减少的方向开闭动作的控制信号Pd，并且对分支管路开闭阀(10a、10n)输出使各分支管路开闭阀(10a、10n)各自依次打开一定时间之后使其封闭的开闭控制信号(Oda、Odn)，利用压力式流量控制部(1a)进行流通过节流孔(6)的过程气体的流量控制，并且通过分支管路开闭阀(10a、10n)的开闭来分流供给过程气体。
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公开(公告)号：CN106537275A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201580020604.5
申请日：2015-07-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/776
Abstract: 本发明提供了一种压力式流量控制装置，其能够在流体流量控制中，实现缩短切换流量时的降落响应时间，提高降落响应特性。压力式流量控制装置具有：主体(4)，其设置有连通流体入口制用控制阀(5)，其以水平姿势固定于主体(4)并对流体通路(3)进行开关；开关阀(6)，其以垂直姿势固定于主体(4)并对压力控制用控制阀(5)的下游侧的流体通路(3)进行开关；流孔(7)，其设置于开关阀(6)的上游侧的流体通路(3)；以及压力传感器(8)，其固定于主体(4)并检测压力控制用控制阀(5)和流孔(7)之间的流体通路(3)的内压，所述流体通路(3)具有：与压力控制用控制阀(5)连接的水平姿势的第一通路部(3a)、连接第一通路部(3a)和流孔(7)的垂直姿势的第二通路部(3b)、以及连接第二通路部(3b)和压力传感器(8)的水平姿势的第三通路部(3c)。(1)和流体出口(2)之间的流体通路(3)；压力控
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公开(公告)号：CN105814410A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201480054854.6
申请日：2014-12-22
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L15/008 , F16L55/027 , G01F1/42 , G01F15/005 , G05D7/0635
Abstract: 本发明涉及流路密封构造，能够省略将孔板或者过滤板对作为母材的孔座或者过滤器座进行焊接或者敛缝的工序，并且能够实现进一步的小型化。其具备：主体块体(1)，形成有主体流路(1a，1b)；凹部(12，13)，形成于主体块体(1)的侧面，且在内周面形成有雌螺纹；薄板(6，8)，抵接于所述凹部的深处，且形成有通孔；垫圈(16，17)，抵接于薄板(6，8)；按压配管(20，21)，具有能够与主体流路(1a，1b)连通的内部流路和扩径部，且抵接于所述垫圈；紧固螺丝(22)，外插于所述按压配管，并且螺旋拧入所述雌螺纹，抵接于所述扩径部而对所述按压配管进行按压。
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公开(公告)号：CN105659178A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480049538.X
申请日：2014-10-21
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0647 , F16K31/004 , F16K31/06 , G01F1/34 , G01F1/363 , G01F1/42 , G01F1/6847 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F15/04
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可扩大监测流量范围并提高监测精度和流量控制精度的流量计及流量控制装置。本发明的流量计及流量控制装置具备大流量用测量部和小流量用测量部，所述大流量用测量部将从入口侧开闭切换阀(PV1)的出口侧到控制阀(CV)的入口侧的流路内部容积作为衰减容积进行流量运算，所述小流量用测量部将从出口侧切换阀(PV2)的出口侧到控制阀(CV)的入口侧的流路内部容积作为衰减容积来计算流量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103718275B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201280038133.7
申请日：2012-06-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/4485
Abstract: 本发明通过能够将加热固体原料或液体原料而生成的原料蒸汽一边使用压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室稳定地供给，实现原料的气化供给装置的小型化和半导体产品的品质提高，并且能够容易地进行原料的剩余量管理。本发明的原料气化供给装置由以下部分构成：原料箱，储存原料；原料蒸汽供给路，从原料箱的内部空间部将原料蒸汽向处理腔室供给；压力式流量控制装置，夹设在该供给路中，控制向处理腔室供给的原料蒸汽流量；和恒温加热部，将上述原料箱、供给路和压力式流量控制装置加热到设定温度；将在原料箱的内部空间部中生成的原料蒸汽一边通过压力式流量控制装置进行流量控制一边向处理腔室供给。
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公开(公告)号：CN105393031A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201480031742.9
申请日：2014-05-12
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0083 , F16K7/17 , G01N27/20 , Y10T137/5994
Abstract: 本发明提供一种隔膜阀，其结构简单，并且能够在隔膜断裂之前切实地检测出隔膜的损伤。隔膜(5)由多层隔膜层(21)(22)(23)形成。在最上层的隔膜层(23)上施加有配线(24)。通过检测配线(24)的切断来检测出隔膜(5)的异常。
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公开(公告)号：CN103649367B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201280033804.0
申请日：2012-04-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/448 , C23C16/4485 , C23C16/45561 , C23C16/52 , Y10T137/86485
Abstract: 本发明包括：液体原料气体供给源；源储罐，其储存所述液体原料气体；气体流通路，其从所述源储罐的内部上方空间部向处理腔供给为液体原料气体蒸汽的原料气体；自动压力调整器，其间置于该气体流通路的上游侧，且将向处理腔供给的原料气体的供给压力保持为设定值；供给气体切换阀，其间置于所述气体流通路的下游侧，且对向处理腔供给的原料气体的通路进行开闭；节流孔，其设于该供给气体切换阀的入口侧和出口侧中的至少一方，且调整向处理腔供给的原料气体的流量；以及恒温加热装置，其将所述源储罐、所述气体流通路和供给气体切换阀以及节流孔加热至设定温度，在本发明中，将自动压力调整器下游侧的原料气体的供给压力控制为所期望的压力，并且向处理腔供给设定流量的原料气体。
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公开(公告)号：CN103858212A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201280047608.9
申请日：2012-07-24
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481
Abstract: 本发明提供能够使气化器内的压力的举动稳定的气化器。本发明的气化器具备：腔，其具备流入口以及流出口；加热装置，其加热该腔内；隔壁构造体(13)，其设于该腔内，并将该腔内的液体材料划分到多个区划；以及液体流通部(20)，其设于隔壁构造体(13)的下部，以容许利用隔壁构造体(13)划分的各区划之间的液体流通，所述隔壁构造体具有格子状、蜂窝状、网孔状、或管状的隔壁。
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公开(公告)号：CN103649367A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201280033804.0
申请日：2012-04-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/448 , C23C16/4485 , C23C16/45561 , C23C16/52 , Y10T137/86485
Abstract: 本发明包括：液体原料气体供给源；源储罐，其储存所述液体原料气体；气体流通路，其从所述源储罐的内部上方空间部向处理腔供给为液体原料气体蒸汽的原料气体；自动压力调整器，其间置于该气体流通路的上游侧，且将向处理腔供给的原料气体的供给压力保持为设定值；供给气体切换阀，其间置于所述气体流通路的下游侧，且对向处理腔供给的原料气体的通路进行开闭；节流孔，其设于该供给气体切换阀的入口侧和出口侧中的至少一方，且调整向处理腔供给的原料气体的流量；以及恒温加热装置，其将所述源储罐、所述气体流通路和供给气体切换阀以及节流孔加热至设定温度，在本发明中，将自动压力调整器下游侧的原料气体的供给压力控制为所期望的压力，并且向处理腔供给设定流量的原料气体。
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