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公开(公告)号:CN102468818A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201110339535.8
申请日:2011-11-01
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波器件,该声波器件包括:第一压电薄膜谐振器,其包括第一下电极、第一上电极和夹在第一下电极和第一上电极之间的第一压电膜;去耦合器膜,其设置在第一上电极上;以及第二压电薄膜谐振器,其设置在去耦合器膜上,并包括第二下电极、第二上电极和夹在第二下电极和第二上电极之间的第二压电膜,其中第一压电膜和第二压电膜包括氮化铝,并包括增大氮化铝的压电常数的元素。