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公开(公告)号：CN222349119U
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202423051085.4
申请日：2024-12-11
Applicant: 安徽大学 , 安徽贝意克设备技术有限公司
IPC: C23C16/44
Abstract: 本实用新型公开了一种硅碳负极材料生产用气相沉积装置，包括外环管和节流阀控制器，节流阀控制器设置于外环管内侧；所述外环管内侧开设有环形切口；外环管对应于环形切口的位置设置有内环管；所述外环管上固接有中心对称的通风管；内环管对应于外环管内部的位置固接有圆周阵列的拨片；所述内环管内侧开设有圆周阵列的多个出气孔；因此当冷气从通风管进入外环管和内环管构成的空间内部后，首先会直接吹向拨片所在的位置，使其对拨片施加作用力，而又由于拨片与内环管连接，因此拨片带动内环管在外环管上转动，进而使得各个与出气孔连接的连接管发生转动，使冷气均匀的喷向节流阀控制器，冷却效果更好。
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