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公开(公告)号：CN104534977B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201410794625.X
申请日：2014-12-19
Applicant: 太原理工大学
IPC: G01B7/34
Abstract: 本发明涉及一种用于SOI光波导的侧壁粗糙度检测方法和装置；解决的技术问题为：提供一种工艺、设备简单，能够对低矮侧壁进行测量的用于SOI光波导的粗糙度检测方法和装置；采用的技术方案为：利用绝缘材料，制备开口向下的槽型绝缘盖；通过键合工艺，将槽型绝缘盖盖在光波导上，使得光波导的待测侧壁与槽型绝缘盖和二氧化硅掩埋层之间形成两端开口的封闭微流道；在微流道中通入离子液体或者极性液体，使得液体在微流道内沿着光波导的整个待测侧壁流动；测量光波导两端的电势差，根据流体流过硅光波导侧壁时硅光波导两端的电势差与硅光波导侧壁粗糙度之间的非线性关系，得出光波导的待测侧壁的粗糙度；本发明适用于MEMS器件测量领域。
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公开(公告)号：CN105712405A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201610006729.9
申请日：2016-01-06
Applicant: 太原理工大学
CPC classification number: C01G41/02 , C01P2002/72 , C01P2004/03 , C01P2004/30 , C01P2004/62 , C01P2004/64 , C01P2006/80
Abstract: 本发明涉及一种钼掺杂氧化钨气敏材料的制备方法，是针对单一组分的氧化钨气敏材料灵敏度低、响应速度慢、选择性差的缺陷，采用在氧化钨内掺杂钼元素，以氯化钨、钼酸铵为原料，经水热合成、真空煅烧、研磨过筛，制成纳米级钼掺杂氧化钨气敏材料，此制备方法工艺先进，数据精确翔实，产物为淡黄色粉体，粉体颗粒直径≤200nm，产物纯度高，达99.5％，气敏性好，对10ppm硫化氢的灵敏度达26.5，可在多种气体传感器中使用，是十分先进的制备钼掺杂氧化钨气敏材料的方法。
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公开(公告)号：CN105540567A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610104571.9
申请日：2016-02-26
Applicant: 太原理工大学
CPC classification number: C01B2202/06 , C01P2002/82 , C01P2004/03 , C01P2004/133
Abstract: 本发明涉及纳米电子器件、纳米复合材料领域，具体属于碳纳米管材料领域，是一种单根多壁碳纳米管分散液及其制备方法。所述单根多壁碳纳米管分散液是由1g/L的多壁碳纳米管、0.4g/L的富勒醇以及pH大于或等于7的极性溶剂构成的。本发明采用富勒醇作为表面活性剂，对纯化的多壁碳纳米管进行分散，通过混合、超声、离心三步工序制备一种均匀稳定的单根碳纳米管分散液，这将进一步拓展碳纳米管的应用领域，特别是对其在纳米电子器件、纳米复合材料等领域的发展具有重要意义。
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公开(公告)号：CN104860533A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510207869.8
申请日：2015-04-29
Applicant: 太原理工大学
CPC classification number: Y02P40/57
Abstract: 本发明涉及量子剪切材料提高Si基太阳能电池转换效率，用于解决目前商用Si基太阳电池在太阳能转换成电能的过程中热损耗及透过损耗严重，转换效率低的问题。在Si基太阳电池上涂覆基于Tb3+-Yb3+共掺氟氧化物玻璃的近红外量子剪切层，通过改变太阳光谱，将波长小于550nm的一个光子转换成两个波长1000nm附近的近红外光子，使其与Si基太阳能电池的响应匹配的更好，以此降低光谱失配带来的损耗，同时在1000nm附近波段获得双倍的光电流。
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公开(公告)号：CN104681308A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510122007.5
申请日：2015-03-20
Applicant: 太原理工大学
Abstract: 本发明涉及微机电系统技术领域，具体为一种孔径可控的超级电容器三维微电极制备方法，包括如下步骤：首先将直径在2-50nm范围内的FeCl3固体颗粒掺入SU-8光刻胶中；然后将掺杂后的SU-8光刻胶旋涂在硅片上，通过光刻工艺得到具有垂直侧壁和高深宽比的三维阵列结构；再将此结构放进高温炭化炉中炭化，制备得到介孔碳电极。本发明从设计工艺的角度出发，通过SU-8胶中掺杂FeCl3方式来提高三维电极的比表面积，FeCl3高温容易直接升华，在炭化的同时会挥发掉，形成多数孔径在2-50nm范围的介孔碳，减少了盲孔数量，极大地提高了多孔碳表面积的利用率，从而增大了电容器的电极面积，提高了电容器的比电容和比功率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104599864A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510030621.9
申请日：2015-01-22
Applicant: 太原理工大学
CPC classification number: Y02E60/13 , H01G11/86 , B81C1/00126
Abstract: 本发明提供了一种可增加MEMS超级电容器电极比表面积的斜光刻方法，包括如下步骤：首先在清洁烘干后的硅基底上旋涂一定厚度的光刻胶，然后将旋涂有光刻胶的硅片固定在一个特别设计的铸钢架上，钢架倾斜角度为15°，之后对硅片上的光刻胶进行两次曝光，第一次曝光完成后将硅片在其所在平面内旋转180°，进行第二次曝光，两次曝光结束即完成了斜光刻的曝光过程，最后显影形成“X”型三维电极阵列结构，并制备三维微电极。本发明从设计工艺的角度出发，通过改进曝光方式来提高三维阵列结构的比表面积，相比传统垂直电极阵列结构，“X”型阵列表现出深宽比高、比表面积大而且结构稳定等特点。因此，该结构在MEMS超级电容器电极结构设计中可被广泛采用。
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公开(公告)号：CN104465125A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410697924.1
申请日：2014-11-28
Applicant: 太原理工大学
Abstract: 本发明涉及微型电容器领域中超级电容器，具体为TiO2/NiO三维叉指微电极及其制备方法。该电极的制备方法为：首先在硅基体表面氧化一层绝缘层，然后溅射金属钛层并通过微加工技术制备钛三维叉指微电极，将此电极放入HF溶液中阳极氧化形成有序TiO2纳米管阵列，在TiO2纳米管内通过电沉积方法制备NiO，最后在具有NiO活性物质的三维叉指微电极间填充KOH电解质。本发明利用具有高比表面积的TiO2纳米管材料和NiO在KOH电解质中能够发生可逆氧化还原反应原理，设计赝电容机理的三维叉指微电极结构，相比传统“三明治”结构大大提高了电容器的比电容。
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公开(公告)号：CN103913486A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201410144773.7
申请日：2014-04-12
Applicant: 太原理工大学
IPC: G01N27/04
Abstract: 本发明公开一种AuNPs（纳米金）-PDMS（聚二甲基硅氧烷）复合微薄膜表面应力生物传感器的制备方法。具体以PDMS薄膜为基底，使用氯金酸溶液为第一步还原剂进行还原以生成金种。利用膜上已经生成的金种，以葡萄糖和碳酸氢钾作为辅助还原剂，使用氯金酸对复合膜进行第二步还原。利用AuNPs-PDMS复合薄膜作为传感器的敏感元件，PDMS为衬底，采用溅射工艺制备传感器的金电极，完成传感器的制备。本发明所述方法生成的AuNPs-PDMS复合薄膜电导性有明显改善，从而使传感器灵敏度得到提高。而且制作方法简单，为实现微型化、低成本、批量化生产提供了可能。
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公开(公告)号：CN103872946A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410119050.1
申请日：2014-03-26
Applicant: 太原理工大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明涉及了一种线性多自由度低频振动能量采集器拾振结构，它包括压电悬臂梁和质量块，质量块粘结在压电悬臂梁自由端，还包括N阶扁平长方体形的传动梁，N为等于或大于2的自然数；第一阶传动梁的两端固定，第二阶传动梁的前端垂直粘结在第一阶传动梁表面中心处；N=2时，第二阶传动梁的末端与压电悬臂梁垂直粘结固定；N＞2时，第二阶传动梁以及其它更高阶传动梁相互垂直并依次首尾粘接固定，第N阶传动梁的末端与压电悬臂梁垂直粘结固定。本发明可以在100Hz以下的超低频范围内实现较宽频带的振动能量采集，增加了能量可采集范围，提高了环境振动能量利用率，有效解决了环境振动能量的低频采集问题。
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公开(公告)号：CN103808770A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410081249.X
申请日：2014-03-07
Applicant: 太原理工大学
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明涉及生物医学工程与电子传感技术交叉学科领域，具体是一种癌变细胞早期快速便携检测装置。检测装置包括呈平行阵列的两个聚二甲基硅氧烷微薄膜电容式生物传感器，数据测量系统，数据传输系统及安装有数据处理软件的PC。检测装置通过检测由电容值表征的细胞表面应力的大小并和正常的人体细胞进行比对完成病变检测和监控。本发明所述检测装置为癌症早期检测提供了全新的思路和解决方案，具有灵敏度高、稳定性好、响应快速（低于5min）、结构简单、操作简易、成本低等特点，具有较好的应用价值和开发前景，ZigBee技术的应用更是对物联网的有益尝试和补充。
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