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公开(公告)号：CN106841687B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201710093432.5
申请日：2017-02-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 采用开尔文探针力显微镜进行多参数同步测量的方法，涉及表面形貌、力学特性和表面局部电势的测量技术，目的是为了解决传统的开尔文探针力显微镜无法实现样品的表面形貌、力学特性和表面局部电势的同步表征的问题。本发明的导电探针始终保持上下往复移动，在一个运动周期内，导电探针和样品之间的最大相互作用力达到设定值对应的时间点为B点，在B点测量表面形貌图像；电探针从样品表面脱离时为C点，在B点和C点之间利用DMT模型得到等效杨氏模量图像；导电探针和样品脱离后继续上升至设定高度并保持一段时间，在该时间段内测量导电探针和样品之间的表面电势差。本发明适用于样品的表面形貌、力学特性和表面局部电势的测量。
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公开(公告)号：CN107449939A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710657332.0
申请日：2017-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁驱峰值力调制原子力显微镜及多参数同步测量方法，涉及微纳米尺度下材料的表面形貌、力学特性的测量技术，目的是为了解决传统基于力位移曲线的方法中探针的驱动频率范围受限、以及在液体环境下整体驱动探针会干扰探针悬臂的运动，影响测量精度的问题。样品台内置有线圈，探针针尖上设置有沿探针长度方向磁化或有在该方向的磁化分量的磁性颗粒。首先获得探针自由状态振动的PSD电压曲线Ufree，再获得探针间歇接触样品时针尖位置的PSD电压曲线Uinden，由Ufree和Uinden获得探针受力的电压曲线UForce，根据以上各曲线获得力-位移曲线，进而结合相应的接触力学模型获得材料的力学特性。本发明探针驱动频率范围宽，测量精度高，适用于高分子复合材料或者生物细胞的研究。
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公开(公告)号：CN104502634A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410783238.6
申请日：2014-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法，涉及采用原子力显微镜进行微纳米结构表面扫描成像的技术。它为了解决传统的原子力显微镜无法对具有大倾角外斜表面、垂直侧壁表面、内斜表面等结构表面实现连续可控分辨率三维扫描成像的问题。本发明通过控制探针针针尖在YZ平面内实时沿与XZ表面成Φ角的矢量上接近样品表面进行扫描，Φ值可以自动根据已扫描的样品表面信息进行动态调节，以此实现不同角度的表面的等分辨率扫描，有助于提高对微纳米结构性能检测及检测效率，从而为超大规模集成电路和甚超大规模集成电路检测提供了一种重要的工具。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100553903C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200710144368.5
申请日：2007-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 机械臂模块化关节间的触针连接装置，它涉及一种触针连接装置，本发明的目的是为解决现有在关节电气连接方面，较多地采用中心孔走线并通过柔性电线或电缆连接，存在可拆卸性和可维护性差，维修比较困难；采用外部走线连接，影响其可靠性，甚至将线缆刮破、刮断造成短路、断路的问题。本发明镀金焊盘固定在第一关节连接电路板上，弹簧触针固定在第二关节连接电路板上，第二关节连接电路板上的每个弹簧触针的安装位置与第一关节连接电路板上的每个镀金焊盘的安装位置相对应。本发明在使用时弹簧触针与镀金焊盘紧密接触，从而实现关节间的电气连接。具有连接简单、耐反复安装拆卸、连接效果好、连接可靠、便于维护、使用安全的优点。
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公开(公告)号：CN101138846A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710144368.5
申请日：2007-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 机械臂模块化关节间的触针连接装置，它涉及一种触针连接装置，本发明的目的是为解决现有在关节电气连接方面，较多地采用中心孔走线并通过柔性电线或电缆连接，存在可拆卸性和可维护性差，维修比较困难；采用外部走线连接，影响其可靠性，甚至将线缆刮破、刮断造成短路、断路的问题。本发明镀金焊盘固定在第一关节连接电路板上，弹簧触针固定在第二关节连接电路板上，第二关节连接电路板上的每个弹簧触针的安装位置与第一关节连接电路板上的每个镀金焊盘的安装位置相对应。本发明在使用时弹簧触针与镀金焊盘紧密接触，从而实现关节间的电气连接。具有连接简单、耐反复安装拆卸、连接效果好、连接可靠、便于维护、使用安全的优点。
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公开(公告)号：CN1319892C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200510010592.6
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C27/00
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合机，它包括台面，在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜，操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1792937A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510010592.6
申请日：2005-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C03C27/00
Abstract: 本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合机，它包括台面，在台面上设置物流台、操作手、加热炉和显微镜，操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1770615A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510010339.0
申请日：2005-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于电荷控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷和连接与压电陶瓷两端的高压运算放大器，在压电陶瓷上串接有反馈电容。对电荷反馈压电陶瓷电源进行了性能测试，当加在压电陶瓷上电压70V左右，定位6秒位移变化情况，在该电源的驱动下，0－7.4um位移变化量，压电陶瓷50ms达到稳定；压电陶瓷输出位移纹波在－0.05－+0.05um波动，几乎没有蠕变现象。
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